Измерение геометрических размеров элементов с помощью микроскопа.
Для измерения геометрических размеров микроскопы типа МБС-1 и МССО оснащаются окуляром с измерительной шкалой. Во время измерений следует руководствоваться следующим:
Настроить с помощью микрометрического винта окуляр таким образом, чтобы измерительная шкала была видна с максимальной резкостью.
Настроить микрометрическим винтом высоту микроскопа таким образом, чтобы наблюдаемый фрагмент имел максимальную резкость.
Выбрать наиболее удобный коэффициент увеличения микроскопа.
Все измерения производятся в условных делениях окуляра. После этого производится пересчет количества делений в линейные размеры. Цена самого меньшего деления шкалы окуляра определяется по формуле:
С=100/к, мкм
где к – коэффициент увеличения микроскопа (в ед.), отсчитанный по внешней шкале барабана переключателя.
Содержание отчета.
Отчет должен содержать:
Титульный лист.
Условные обозначения всех слоев.
Чертеж совмещенной топологии в масштабе 10:1 или 20:1.
Чертежи всех слоев в том же масштабе.
Отчет представляется на сшитых листах формата А4. Допускается изготовление чертежей совмещенной топологии и чертежей слоев на миллиметровой бумаге. При этом листы миллиметровой бумаги также должны быть формата А4. Допускается вычерчивание топологии на листах миллиметровой бумаги меньшего формата при условии наклеивания их на стандартные листы А4. Топологический чертеж выполняется простым карандашом. Применение цветных карандашей, ручек и фломастеров при оформлении чертежей отчета не допускается.
При использовании в оформлении графического материала стандартных пакетов прикладных программ автоматизированной подготовки конструкторских документов (АВТОКАД, КОМПАС и др.) распечатки сшиваются с основными листами отчета. «Дочерчивание» распечаток карандашом при этом не допускается.
Каждая работа подлежит индивидуальной защите у преподавателя.
В отчет вкладывается эскиз топологии, выполненный на занятии и подписанный преподавателем.
Приложения
Приложение 1
Образец титульного листа
САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
ИНФОРМАЦИОННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ, МЕХАНИКИ И ОПТИКИ
Кафедра проектирования компьютерных систем
ОТЧЕТ
по лабораторной работе
__________________________________________________
(Наименование работы)
по дисциплине
«Конструирование и технология ГИС»
Выполнил студент …..группы ……..........................
(подпись)
Принял доцент кафедры ПКС Кармановский Н.С.
(подпись)
Санкт-Петербург
2007 год
Приложение 2
Образец выполнения совмещенной топологии ГИС и чертежей слоев
Примечание: чертежи слоев выполняются в том же масштабе, что и совмещенная топология, а их число должно соответствовать числу слоев микросхемы.