Заключение
Современное
проектирование процесса производства
интегральных схем невозможно представить
без автоматизации. Слишком много
параметров нуждаются в расчете, поэтому
практически все процессы рассчитываются
на ПК. Для расчетов используются различные
языки (среды) программирования. Одной
из таких является язык Delphi.
В результате
проделанной работы была создана
программа, позволяющая моделировать в
диалоговом режиме мгновенного внутреннего
источника тепла, создаваемого в кремнии
облучением ионами водорода.
Программа позволяет
получать графики и графические значения
одновременно для нескольких входных
параметров.
Программа разработана
в среде Delphi
7.0.
Литература
Бубенников А. Н.
Моделирование интегральных микротехнологий,
приборов и схем. – М., Высшая школа. 1989
Борисенко В. Е.
Твердофазные процессы в полупроводниках
при импульсном нагреве. – Мн., Наука и
техника. 1991
Абрамов И. И. Курс
лекций “Моделирование элементов
интегральных схем”. – Мн., БГУ. 1999
Зи С. Физика
полупроводников – М: Радио и связь,
1989
Лешок А.А. Курс
лекций по МТПиЭИС
