БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК
1. Аваев, Н. А. Основы микроэлектроники / Н. А. Аваев, Ю. Е. Наумов, В. Т. Фролкин. − М.:Радио и связь, 1991. − 288 с.
2. Броудай, И. Физические основы микротехнологии / И. Броудай,
Дж. Мерей. − М.: Мир, 1985. − 496 с.
3.Готра, З. Ю. Технология микроэлектронных устройств: Справочник / З. Ю. Готра. − М.:Радио и связь, 1991. − 528 с.
4.Ефимов, И. Е. Микроэлектроника: физические и технологические основы, надежность / И. Е. Ефимов, Ю. И. Горбунов, И. Я. Козырь. − М.: Высш.
шк., 1986. − 463 с. |
|
5. Иванов − Есипович, Н. К. Физико-химические основы |
производства |
радиоэлектронной аппаратуры / Н. К. Иванов − Есипович. − М.: |
Высш. шк., |
1979. − 328 с. |
|
6. Курносов, А. И. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем / А. И. Курносов, В. В. Юдин. − М.: Высш. шк.,
1986. − 368 с.
7. Парфенов, О. Д. Технология микросхем / О. Д. Парфенов. − М.: Высш.
шк., 1986. − 320 с.
8. Пичугин, И. Г. Технология полупроводниковых приборов / И. Г. Пичугин, Ю. М. Таиров . − М.: Высш. шк., 1984. − 288 с.
9. Сугано, Т. Введение в микроэлектронику / Т. Сугано, Т. Икома,
Е. Такэиси. − М.: Мир, 1988. − 320 с.
10. Таруи, Я. Основы технологии СБИС / Я. Таруи. − М.:Радио и связь, 1985.− 480 с.
11.Тилл, У. Интегральные схемы: материалы, приборы, изготовление / У. Тилл. Дж. Лаксон. − М.: Мир, 1985. − 501 с.
12.Черняев, В. Н. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров / В. Н. Черняев. − М.: Радио и связь, 1987. – 463 с.
13. Черняев, В. Н. Физико-химические процессы в технологии РЭА / В. Н. Черняев. − М.: Высш. шк., 1987. − 376 с.
111
Учебное издание
СМИРНОВ Виталий Иванович
ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ТЕХНОЛОГИИ ЭЛЕКТРОННЫХ СРЕДСТВ
Учебное пособие
Корректор ………………..
Подписано в печать …………...
Формат 60×84/16. Бумага писчая. Печать трафаретная. Усл. печ. л. 6,3. Уч. изд. л. 6,0.Тираж 150 экз. Заказ …..
Ульяновский государственный технический университет 432027, Ульяновск, Северный Венец, 32.
Типография УлГТУ, 432027, Ульяновск, Северный Венец, 32.
112