Список использованных источников
1
Наноиндустрия.
Научно-технический журнал [Электронный
ресурс]. – 2023. – Режим доступа:
https://www.nanoindustry.su/files/article_pdf/7/
2
Технология
химической обработки подложек
[Электронный ресурс]. – 2023. – Режим
доступа: https://studfile.net/preview/1864952/page:13/
3
Физико-химические процессы производства
изделий интегральной электроники
[Электронный ресурс]. – 2023. – Режим
доступа:
https://libeldoc.bsuir.by/bitstream/123456789/2435/3/Met_2011.pdf
4
Технология изделий интегральной техники
[Электронный ресурс]. – 2020. – Режим
доступа: https://www.bsuir.by/m/12_113415_1_67125.pdf
5 Последовательность формирования диффузионно-планарной структуры [Электронный ресурс]. – 2023. – Режим доступа: https://scienceforum.Ru/2023/article/201803.