Добавил:
SofiaZik
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз:
Предмет:
Файл:Диплом_9282 / Презентация_ВКР_группа_9282_Зикратова.pptx
Сравнительная таблица
|
|
|
|
SiO2 (терм. |
SiO2 |
Si*, |
Si*, |
|
|
|
|
|
окисл.), |
(ПХО), |
ПХТ + |
Al, ЖТ |
|
Фоторезист |
|
R, мкм |
H, Дж/м2 |
ПХТ |
||||
|
ЖТ |
ЖТ + ПХТ |
ЖТ |
|
||||
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Δ, мкм |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
SPR350-1,2 |
|
0,55-0,6 |
750 |
0,1 |
0,05 |
0,2 |
0,04 |
0,07 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
RD-2700 25cp |
|
0,55-0,6 |
1000 |
0,205 |
0,065 |
0,06 |
0,59 |
0,845 |
|
(растрав) |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
DSAM–3020 |
|
0,5 |
800 |
0,38 |
0,04 |
0,23 |
0,5 |
0,4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
max, мкм |
|
0,2 |
0,1 |
0,25 |
0,3 |
0,8 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
11
Заключение
1)Оба ФР не могут в полной мере заменить SPR350–1,2 (без коррекции технологических процессов).
2)ФР RD–2700 25cp прекрасно подходит для ПХТ поликремния.
3)Для применения ФР DSAM–3020 в технологическом процессе необходимо внести изменения в ПХТ и ЖТ.
12