Твердотельная электроника.-3
.pdf296
Видно, что, начиная с некоторой частоты коэффициент выпрямления уменьшается. Взятый на уровне 0,707 от низкочас-
тотного значения kв0 дает значение максимальной частоты диода
f мах |
. При этом надо иметь в виду, что предельная частота |
f пред |
и максимальная f мах - это не одно и тоже. |
4.16. Пробой электронно-дырочного перехода
Пробой – это явление резкого возрастания обратного тока через p-n переход при подаче на него обратного напряжения. По физической сущности явлений, наблюдаемых при пробое, различают лавинный, туннельный и тепловой механизмы пробоя. Напряжение, при котором происходит пробой, называется пробивным напряжением.
Лавинный пробой
Механизм лавинного пробоя обусловлен процессом ударной ионизации. Если носитель заряда, например, электрон, оказывается в ОПЗ p-n перехода, то при обратном напряжении на него действуют достаточно большие силы электрического поля. Под действием этих сил электрон на длине свободного пробегаl набирает энергию W , равную qEl . Если энергия, приобретенная электроном в электрическом поле, больше потенциала ионизации атома Wi , то произойдет процесс ударной ионизации: под действием электрона из нейтрального атома выбивается элек-
297
трон, т.е. из валентной зоны в зону проводимости генерируется свободный электрон. Таким образом, в результате многочисленных актов ударной ионизации увеличивается число свободных носителей, что и вызывает лавинообразное нарастание тока– пробой p-n перехода (рис. 4.41).
|
Е |
p+ |
n |
_ |
+ |
|
Рисунок 4.41. К механизму лавинного пробоя p-n перехода
Пробой по описанному механизму называется лавинным пробоем.
Для характеристики лавинного пробоя используются два параметра: коэффициент ударной ионизацииa и коэффициент лавинного размножения М . Коэффициент лавинного размножения можно оценивать как отношение тока данныхносителей (например, электронов), выходящих из перехода, к току этих же носителей, входящих в p-n переход. Коэффициент ударной ионизации a показывает количество актов ионизации, производимых носителем на длине путиd. (d – ширина ОПЗ). Обычно полагают, что коэффициент ударной ионизации a и лавинного
размножения |
М одинаковы |
для электронов и |
дырок. Взаимо- |
||
связь |
между М и a находится путем решения |
уравнения не- |
|||
прерывности и дает следующее соотношение |
|
||||
|
|
1 |
d |
|
|
|
1 - |
= òadx |
|
(4.87) |
|
|
М |
|
|||
|
|
0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
d |
|
При |
пробое М ® ∞ и тогда |
выражениеòadx =1 - считается |
|||
|
|
|
|
0 |
|
критерием лавинного пробоя.
298
Оценим величину напряжения пробоя при лавинном механизме, поскольку для пользователей приборов важен именно этот параметр.
Выражение для напряженности в резком p+ - n переходе
можно записать E = qNa (d - x) , а зависимость a от Е задать в ee0
виде a = A E m , где А – константа; m – параметр, зависящий от
материала полупроводника (изменяется от 5 до 8). Тогда с уче-
том (4.87)
|
1 |
d |
æ |
|
öm d |
m |
æ |
|
öm |
d |
m +1 |
|
|
|
ç qNa ÷ |
|
ç qNa ÷ |
|
|||||||
1 - |
|
= òadx = Aç |
|
÷ |
ò(d - x) |
|
dx = Aç |
|
÷ |
|
|
|
М |
ee0 |
|
|
m +1 |
||||||||
|
0 |
è |
ø |
0 |
|
è ee0 |
ø |
(4.88)
Подставляя в (4.88) выражение для толщины резкого p-n перехода (4.22), в котором пренебрегаем jk0 , т.к. jko << U получим:
|
1 |
|
|
|
A |
|
|
|
qNa |
)m ( |
2ee |
|
|
|
m +1 |
|
m +1 |
|||||||||||||||
1 - |
= |
|
|
|
( |
0 |
) |
2 |
|
|
U |
|
|
|
||||||||||||||||||
|
|
|
|
2 |
|
|||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||
(4.89) |
М |
|
m +1 ee0 |
|
|
|
|
qNa |
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Полагая при пробое U = Uпроб |
и М ® ∞, запишем и (4.89) |
|||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
A |
|
|
qNa |
)m ( |
2ee0 |
|
|
m +1 |
m +1 |
|||||||||||||||||||
1 = |
|
( |
) |
2 |
U |
проб2 |
|
|||||||||||||||||||||||||
m +1 |
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||||
(4.90) |
|
|
|
|
ee0 |
|
|
qNa |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Разделив (4.89) на (4.90) получим |
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||||
1 - |
1 |
|
|
= ( |
U |
|
) |
m +1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
МUпроб
(4.91)
Из (4.91) имеем М = |
1 |
|
|
|
или М = |
1 |
|
, |
||||
|
|
U |
|
m +1 |
|
|
U |
|
||||
|
1 - ( |
) |
|
|
|
1 - ( |
)в |
|||||
|
2 |
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|||||||||||
|
|
Uпроб |
|
|
|
|
|
U проб |
|
|
(4.92)
299
где в = m +1 - коэффициент, различный для диодов из разных
2
материалов ( в = 2…6). При малых обратных напряжениях и
U® 0
М® 1, а при U ® Uпроб - М ® ∞.
Из выражения (4.90) пробивное напряжение при лавинном пробое равно
|
m+1 |
|
m +1 |
|
1 |
|
m +1 |
ee |
|
|
m - |
m +1 |
|
1 |
|
m- |
m +1 |
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
Uпроб2 |
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
|||||||||||
= |
|
|
( |
|
) 2 ( |
|
) |
2 ( |
|
) |
|
2 или |
|||||||||
A |
2 |
q |
|
Na |
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
é1 |
|
m +1 |
2 |
|
|
ee |
|
|
m -1 |
ù 1 |
|
|
||||
|
|
|
|
|
0 |
|
||||||||||
Uпроб = ê |
|
( |
|
)m +1 |
( |
|
)m +1 ú |
|
|
|
||||||
|
A |
q |
|
|
m -1 |
|||||||||||
ë2 |
|
|
|
|
|
û |
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
m +1 |
||||||||||
(4.93) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Na |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
Выражение в квадратных скобках включает в себя постоян- |
||||||||||||||||
ные величины, обозначив его через В запишем (4.93) в виде |
B
Uпроб = Nбk ,
где N – концентрация легирующей примеси в слаболегирован-
ной области p-n перехода; k = m -1 . m +1
Полученная теоретическая зависимость (4.94) имеет хорошее экспериментальное подтверждение (рис. 4.42)
Uпроб, В |
|
|
|
1000 |
|
|
|
|
|
|
|
100 |
|
|
GaAs |
|
|
||
10 |
|
Ge |
Si |
|
|||
|
|
||
|
|
|
Nб, см-3 1014 1015 1016 1017
Рисунок 4.42. Зависимость пробивного напряжения от концентрации легирующей примеси в базе p-n перехода для раз-
300
Переходя от концентрации легирующей примеси к удельному сопротивлению базы можно записать Uпроб = Вra .
Для кремниевых p-n переходов напряжения пробоя с численными параметрами коэффициентов b иa следующие:
p+ - n |
Uпроб |
= 96r0,78 |
n+ - p |
Uпроб = 48r0,78 . |
|
Для германиевых диодов: |
||
p+ - n |
Uпроб |
= 100r0,8 |
n+ - p |
Uпроб |
= 55r0,8 . |
Значения В различны из-за отличий в подвижности носителей. В инженерной практике часто используются полуэмпириче-
ские соотношения для напряжения пробоя:
Резкий переход |
Uпроб = 60( |
DE |
)1,5 ( |
1016 |
)0,75 |
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
||||||||||
(4.95) |
|
|
1,1 |
|
|
Nб |
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Uпроб |
= 60( |
DE |
1,2 |
1020 |
|
0,4 |
|
|
|||||
Плавный переход |
|
|
) |
|
( |
|
|
) |
|
|
|
||||
1,1 |
|
|
a |
|
|
|
|||||||||
(4.96) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Таким образом в резком электронно-дырочном переходе на- |
|
||||||||||||||
пряжение пробоя определяется концентрацией легирующей |
|
||||||||||||||
примеси в базе, а в плавном– градиентом концентрации, по- |
|
||||||||||||||
скольку эти величины определяют ширину ОПЗp-n перехода. |
|
||||||||||||||
Упрощенно |
данное |
|
заключение |
|
можно |
пояснить: |
так |
||||||||
Uпроб = Eпроб × d , |
т.е. ширина ОПЗ определяет Uпроб , а она зави- |
|
|||||||||||||
сит и однозначно определяется концентрацией примеси в базе- |
|
||||||||||||||
Nб . |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
301
Для лавинного механизма пробоя характерно увеличение напряжения пробоя с ростом температуры(рис. 4.43). Это связано с тем, что лавинный пробой возможен при ударной ионизации, которая наблюдается, если W >> Wi ³ qEl . С ростом температуры длина свободного пробега уменьшается и, для реализации условия W >Wi , требуются большие электрические поля.
Необходимо отметить очень важную особенность лавинного пробоя: пробой носит локальный характер(рис.4.44). Т.е. формирование лавины происходит не по всей площади перехода, а в локальных участках с наибольшей напряженностью электрического поля, обусловленной не идеальностью границы ОПЗ.
U проб/ |
I |
U проб |
U
Т2 > T1
Рисунок 4.43. ВАХ p-n перехода при лавинном пробое для различных температур
p n
Рисунок 4.44. Пояснения к локальности процесса лавинного пробоя
Туннельный пробой
Туннельным пробоем называется электрический пробой пе-
рехода, вызванный квантово - механическим туннелированием
носителей заряда через ОПЗp-n перехода без изменения энергии. Условия, при которых возможно туннелирование определяется напряженностью электрического поля в переходе. На
302
рис.4.45 представлена зонная диаграмма p-n перехода при обратном смещении. Вероятность туннелирования определяется шириной ОПЗ, напряженностью электрического поля вp-n переходе и шириной запрещенной зоны. Чтобы туннелирование стало возможным необходимо, чтобы ширина ОПЗ была малой. Это возможно, если p-n переход изготовлен из сильно легированных полупроводников. При приложении обратного смещения из-за большого наклона зон становится возможным переход электронов, лежащих в диапазоне энергийDE в p- полупроводнике, из валентной зоныp-полупроводника в зону проводимости n-полупроводника.
EC
EF
EV
DЕ
EC
EF
EV
Рисунок 4.45. Зонная диаграмма при обратном напряжении для p-n перехода на основе сильнолегированных полупроводников
Вероятность туннелирования резко возрастает при увеличении напряженности электрического поля. Это вызывает сильный рост тока - туннельный пробой. Вероятность туннелирования зависит также от ширины запрещенной зоны полупроводника: чем меньше DE , тем более вероятно туннелирование.
Рассмотрим расчет пробивного напряжения для туннельного пробоя симметричного резкого p-n перехода. Пробой наступает тогда, когда максимальная напряженность поля Emax достигает
критической величины Eкр , достаточной для туннелирования. В
303
резком p-n переходе максимальная напряженность соответствует металлургической границе p-n перехода, т.е. при x = 0 .
Emax = |
qN |
a |
d p |
= |
qN |
a |
|
Nq |
d |
|
|
ee0 |
|
N a+Nд |
|||||
|
ee0 |
|
|
|
Подставляя выражение для d в Emax получим
Emax2 = |
2q |
|
Na Nд |
(jk0 -U ) |
ee0 |
|
|||
|
|
Na + Nд |
При Emax = Eкр наступает туннельный пробой
Uпроб |
|
ee |
0 Eкр2 |
|
1 |
|
1 |
0 |
|
= |
|
|
( |
|
+ |
|
) -jk |
||
2q |
Na |
Nд |
|||||||
|
|
|
|
|
(4.97)
Из (4.97) видно, что и в случае туннельного пробоя напряжение пробоя определяется шириной ОПЗp-n перехода, т.е. зависит от концентрации легирующей примеси: чем больше концентрация, тем меньше ширина ОПЗ и меньше напряжение пробоя. Величина пробивного напряжения для сильнолегированных p-n переходов невелика, составляя несколько вольт.
Выражение (4.97) можно, пренебрегая величиной jk0 , переписать в следующем виде:
Uпроб = Cp rp + Cn rn ,
|
|
ee |
0 |
E 2 |
|
где C p , Cn |
- постоянные величины включающие |
|
кр |
, |
|
|
|
|
|||
|
|
mp,n |
rp , rn -удельные сопротивления pn n-областей в Ом × см .
Для кремниевых и германиевыхp-n переходов выражения принимают следующий вид:
Uпроб = 200rn + 73rp - для кремниевых переходов Uпроб =190rn + 94rp - для германиевых переходов.
Температурный коэффициент напряжения пробоя при туннельном механизме отрицательный, т.е. с ростом температуры напряжение пробоя уменьшается. Это обусловлено уменьшением ширины запрещенной зоны и ширины барьера для туннели-
304
рующих электронов, что вызывает увеличение вероятности туннелирования и уменьшение Uпроб .
Как и лавинный пробой туннельный пробой также развивается в локальных участках p-n перехода.
Тепловой пробой
Тепловой пробой – это пробой, развитие которого обусловлено выделением в выпрямляющем переходе тепла вследствие прохождения тока через переход. Рассмотрим физический механизм теплового пробоя. Если на переход подать обратное напряжение, то через него будет протекать небольшой обратный ток и в переходе выделяется некоторая мощность
Pвыд = Uобр Iобр ,
Выделяющаяся мощность вызывает увеличение температуры, если отводимая мощность меньше выделяющейся
Pотв = T -Tокр ,
RT
где T - температура p-n перехода;
Tокр - температура окружающей среды;
RT - тепловое сопротивление (поток мощности при единичном градиенте температуры).
Нагрев p-n перехода вызывает увеличение обратного тока и увеличение выделяющейся мощности, что вновь ведет к росту температуры и возрастанию обратного тока, т.е. наблюдается процесс с положительной обратной связью: протекание обратного тока вызывает его возрастание. Схематично процесс пробоя при соотноше-
нии Pвыд ³ Pотв можно представить следующей схемой
Uобр Iобр = Pвыд ® T ® Iобр ® Pвыд ® T ® Iобр ® Pвыд ® ...
Описанный процесс протекает во времени достаточно быстро, т.к. через короткий промежуток времени (10-7 - 10-6 с) обратный ток через p-n переход резко возрастает – происходит пробой. В случае наличия положительной обратной связи прибор должен
305
обладать ВАХ с участком отрицательного дифференциального сопротивления (рис. 4.46). Вид ВАХ при тепловом пробое пока-
зан на рис. 4.46. |
|
|
|
|
|
|
Критерием |
теплового |
пробоя |
является |
соотношение |
||
Pвыд ³ Pотв или U |
обрIобр |
³ |
T -Tокр |
|
|
|
RT |
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
(4.98)
Выведем выражение для расчета напряжения пробоя по тепловому механизму. Для учета температурной зависимости обратного тока введем температурный коэффициент обратного тока a .
a = |
1 |
|
dIобр |
; a × dT = |
dI |
обр |
Iобр |
|
dT |
Iобр |
|||
|
|
|
(4.99)
I
Uпроб
U
T1 > T2
Рисунок 4.46. ВАХ p-n перехода при тепловом пробое
Интегрируя (4.99) в пределах температур от T = Tокр - тем-
пературы окружающей среды, до T = T - температуры p-n перехода при
пробое и для тока: I обр= Iокр - обратный ток при температуре окружающей среды до I обр при пробое получим: