m07
.pdfПриложение Б 4.
Титульный лист автореферата КРМ
Московский Государственный Технический Университет
им. Н.Э. Баумана
На правах рукописи
Фамилия Имя Отчество
УДК: ХХХ.ХХХ
НАЗВАНИЕ ДИССЕРТАЦИИ
А в т о р е ф е р а т
диссертации магистра по направлению «Нанотехнология» с профилем подготовки
«Наноинженерия»
Москва – 2008
61
Приложение Б 5.
Обратная сторона титульного листа автореферата КРМ
Работа выполнена в Московском Государственном Техническом Университете им. Н.Э. Баумана.
Научный руководитель: уч. степень, звание Фамилия И.О.
Научные консультанты: уч. степень, звание Фамилия И.О.
Ведущее предприятие: Название организации (город).
Защита квалификационной работы магистра состоится «___»_______ 20__ года на заседании Государственной аттестационной комиссии по направлению «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия» в Московском Государственном Техническом Университете им. Н.Э. Баумана (ауд. _____).
Ваши отзывы в двух экземплярах просьба высылать по адресу: 105005, г. Москва, 2-ая Бауманская ул., д.5, кафедра _____.
Автореферат разослан «___» __________ 20__ г.
Ученый секретарь Государственной аттестационной комиссии по направлению «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия» уч. степень, звание Фамилия И.О.
62
Приложение Б 6.
Титульный лист КРМ
Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана
Факультет ____________________
Кафедра ______________________
Ф. И. О.
ДИССЕРТАЦИЯ МАГИСТРА
Тема: _____________________________________________________
по направлению «Нанотехнология» с профилем подготовки
«Наноинженерия»
Научный руководитель Ученая степень, ученое звание ФИО
Москва
200_ год
63
Приложение Б 7.
Типовое содержание КРМ
Содержание
ВВЕДЕНИЕ
1.СОВРЕМЕННОЕ СОСТОЯНИЕ И ТЕНДЕНЦИИ РАЗВИТИЯ ОТРАСЛИ В ОБЛАСТИ МЭМС И ОПТИЧЕСКИХ АКСЕЛЕРОМЕТРОВ
1.1Используемые емкостные МЭМС акселерометры, произведенные по технологии глубокого травления кремния
1.1.1Технология производства МЭМС акселерометров по технологии глубокого травления кремния
1.1.2Анализ структурной схемы МЭМС акселерометра
1.1.3Основные характеристики МЭМС акселерометра
1.1.4Преимущества и недостатки такого акселерометра
1.2Аналогичный МЭМС акселерометр, произведенный по технологии глубоко травления кремния
1.2.1Технология производства МЭМС акселерометров по технологии глубокого травления кремния
1.2.2Анализ структурной схемы МЭМС акселерометра
1.2.3Основные характеристики МЭМС акселерометра
1.2.4Преимущества и недостатки такого акселерометра
1.3Обзор зарубежных оптических акселерометров, связанных с интерферометром Фабри-
Перо
2.ИНТЕРФЕРОМЕТР ФАБРИ-ПЕРО И КОНСТРУКЦИИ ОПТИЧЕСКОГО МИКРОАКСЕЛЕРОМЕТРА НА ЕГО ОСНОВЕ
2.1Интерферометр Фабри-Перо – основные параметры, свойства и характеристики
2.2Реализация микроакселерометра на основе интерферометра Фабри-Перо
2.3Конструкция микроакселерометра на основе интерферометра Фабри-Перо
3.МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ КОНСТРУКЦИИ МИКРОАКСЕЛЕРОМЕТРА НА ОСНОВЕ ИНТЕРЕРОМЕТРА ФАБРИ-ПЕРО
3.1Моделирование конструкции микроакселерометра в пакете ANSYS
3.2Теоретический расчет конструкции микроакселерометра в нагруженном состоянии
4.ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ АКСЕЛЕРОМЕТРА НА ОСНОВЕ ИНТЕРФЕРОМЕТРА ФАБРИ-ПЕРО
4.1Технологический процесс производства оптического микроакселерометра на основе интерферометра Фабри-Перо
4.1.1Условия напыления полупрозрачных и зеркальных пленок на кварцевое стекло
4.1.2Основные этапы при производстве оптического микроакселерометра на основе интерферометра Фабри-Перо
4.2Экспериментальное исследование характеристик оптического микроакселерометра на основе интерферометра Фабри-Перо
4.2.1Исследование чувствительности микроакселерометра
4.2.2Исследование максимально допустимой нагрузки на микроакселерометр
4.3Исследование возможности построения аналогичных микроакселерометров с изменениями в конструкции
4.3.1Исследование возможности построения комбинированного опто-емкостного микроакселерометра на основе интерферометра Фабри-Перо и емкости.
4.3.2Исследование возможности построения жидкостного микроакселерометра на основе интерферометра Фабри-Перо ЗАКЛЮЧЕНИЕ ВЫВОДЫ
ИСПОЛЬЗОВАННЫЕ ИСТОЧНИКИ
64
Приложение Б 8
Пример оформления графического материала диссертации магистра по направлению «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия»
65
66
67
68
69
70