Метрология и стандартизация / Rossiyskaya metrologicheskaya entsiklopediya. Tom 1 (Okrepilov) 2015
.pdf338
Рис. 3. Структура блока Б ГЭТ 154-2011
газосмесительной аппаратуры, реализующей объемно- |
−установкудлявоспроизведенияединицымолярной |
манометрический, гравиметрический, динамический |
доли озона (А5). |
методы. |
Блок Б включает комплексы и установки для пере- |
Использованиеаппаратуры, реализующейпринципи- |
дачи единиц молярной доли и массовой концентрации |
альноразличныеметоды, позволяетсбольшойстепенью |
компонентов в газовых смесях (Б1 – Б6). |
достоверности выявлять и контролировать источники |
Блоки А1–А3 состоят из комплекса высокоточной |
систематических погрешностей при анализе и синтезе |
аналитической аппаратуры, определяющего молярную |
газовых смесей. Применяемые методические решения |
долюосновногокомпонентаипримесейвчистыхгазах. |
позволяют обеспечить наивысшую в стране точность |
СоставиметрологическиехарактеристикиблоковА1–А3 |
измерений. Вид установок, входящих в ГЭТ 154-2011, |
приведены в таблице 1. |
приведен на рис. 1. |
Аттестованные на блоках А1–А3 чистые газы и |
|
вещества применяются для приготовления первичных |
Метрологические и технические |
эталонныхгазовыхсмесей(ПЭГС) ипервичныхэталон- |
ных источников микропотоков газов и паров (ПЭИМ). |
|
характеристики, состав эталона |
ПЭГС и ПЭИМ приготавливают и аттестуют по |
|
процедуре приготовления на эталонном комплексе А4, |
ФункциональноГЭТ154-2011 состоитизследующих |
предназначенномдлявоспроизведениямолярнойдолии |
блоков (рис. 2 и 3): |
массовой концентрации компонентов в газовых смесях |
− Блок А – для воспроизведения единицы молярной |
в диапазонах от 1·10-7% до 99,5% и от 8,0·10-3 мг/м3 до |
долиосновногокомпонентавчистыхгазахивеществах. |
1,5·103 мг/м3 соответственно. |
− Блок Б – для передачи единиц молярной доли и |
Составиметрологическиехарактеристикикомплекса |
массовой концентрации компонентов в газовых средах. |
А4 приведены в таблице 2. |
|
В состав блока для воспроизведения единицы мо- |
Блок А включает в себя следующие комплексы и |
лярной доли газов входит также специализированная |
установки: |
установка для воспроизведения единицы молярной |
− комплексы и установки для воспроизведения еди- |
доли озона в диапазоне от 3·10-7% до 1·10-3%. В состав |
ницы молярной доли основного компонента в чистых |
комплекса входят высокоточный УФ-фотометр типа |
газах и веществах (А1–А3); |
SRP ивысокоточный генератораозона. Составиметро- |
−комплексдлявоспроизведениямолярнойдолиимас- |
логические характеристики комплекса представлены в |
совойконцентрациикомпонентоввгазовыхсмесях(А4); |
таблице 3. |
339
Таблица 1. Состав и метрологические характеристики блоков А1–А3 ГЭТ 154
|
|
|
Обозначение |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Диапазон |
Отн. стандартная |
Отн. стандартная |
||||||
|
|
|
и наименование |
|
|
|
Определяемые |
||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
измерений молярной |
неопределенность |
неопределенность |
|||||||||||||||||
эталонных комплексов |
компоненты |
||||||||||||||||||||||||
доли |
типа А, % |
типа В, % |
|||||||||||||||||||||||
|
|
|
и установок |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
А1. Хроматографи- |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
ческий комплекс для |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
99,95 – 99,99999% |
|
|
||||||||||
аттестации чистых газов: |
He, H2, N2, СО, |
|
|
||||||||||||||||||||||
N2, O2, He, Ar, CO, CO2, |
|
(для основного |
0,9·10-4 – 3·10-7 |
3,5·10-4 – 1,5·10-6 |
|||||||||||||||||||||
|
СО , О , Ne, Xe, |
||||||||||||||||||||||||
Ne, H2, Kr, Xe, N2O, CH4, |
|
2 |
|
|
2 |
|
|
|
|
компонента) |
|
|
|||||||||||||
C H , C H , C H , C H |
|
на |
Kr, СН4, и др., а |
(1·10-7 – 2)% |
4,5 – 0,2 |
6,0 – 0,2 |
|||||||||||||||||||
2 |
|
4 |
2 |
6 |
|
3 |
6 |
|
3 |
8 |
|
|
|
также H2O |
|
|
|
|
|||||||
примеси: He, Ne, H2, Ar, |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(для примесей) |
|
|
|||||||||||||
O2, N2, Kr, Xe, CO, CO2, |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
CH4, включая H2O |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
А1-1. Измерительная |
|
|
|
Ar, N |
, СН |
, СО, |
99,995 – 99,99999% |
1,5·10-5 – 3·10-7 |
|
||||||||||||||||
|
|
|
(для основного |
2·10-4 – 1,5·10-6 |
|||||||||||||||||||||
установка для аттеста- |
|
||||||||||||||||||||||||
|
|
|
2 |
|
|
|
4 |
|
|
компонента) |
4,5 – 0,1 |
||||||||||||||
ции чистых газов: N2, |
|
|
СО2, Ne, Xe, Kr, |
5 – 0,5 |
|||||||||||||||||||||
|
|
|
|
О , H O |
|
(5·10-7 – 0,1)% |
при n=6 |
||||||||||||||||||
He, H2, O2 и Kr |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
2 |
|
|
|
(для примесей) |
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
А1-2. Измерительная |
|
|
|
H , N , СН , СО, |
99,95 – 99,9995% |
0,9·10-4 – 5·10-6 |
|
||||||||||||||||||
установка для аттеста- |
|
(для основного |
|
||||||||||||||||||||||
|
2 |
|
2 |
|
|
|
4 |
|
|
при n=6 |
4,5·10-4 – 4·10-5 |
||||||||||||||
ции чистых газов: CO, |
|
|
СО , He, Ne, Xe, |
компонента) |
|||||||||||||||||||||
|
|
|
2 |
|
Kr, |
|
|
|
0,5 – 0,2 |
0,7 – 0,2 |
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
CO , Xe, CH , C H , C H |
|
|
|
|
|
|
|
(2·10-4 – 2,0)% |
|||||||||||||||||
|
|
|
О2 + Ar |
|
при n=6 |
|
|||||||||||||||||||
|
2 |
|
|
|
4 |
|
3 |
8 |
|
2 |
|
6 |
|
|
|
(для примесей) |
|
||||||||
и др. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
А1-3. Измерительная |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
99,995 – 99,99998% |
5·10-5 – 1,9·10-6 |
|
||||||||||
|
|
|
Ar, N , СН , СО, |
(для основного |
4,8·10-5 – 3·10-6 |
||||||||||||||||||||
установка для аттеста- |
|
||||||||||||||||||||||||
|
компонента) |
4,5 – 1,0 |
|||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
4 |
|
|
|
|||
ции сверхчистого Не |
|
|
|
СО2, Ne, О2, H2 |
1·10-7 – 5·103% |
при n=6 |
6 – 2,5 |
||||||||||||||||||
и чистогоAr |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(для примесей) |
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
А2. Хроматографиче- |
|
|
бензол, толуол, |
99,5 – 99,999% |
0,8·10-2 – 2·10-5 |
|
|||||||||||||||||||
|
|
ксилолы, мер- |
(для основного |
6,8·10-3 – 2,8·10-5 |
|||||||||||||||||||||
ский комплекс для атте- |
|||||||||||||||||||||||||
каптаны, спирты, |
компонента) |
1,8 – 0,1 |
|||||||||||||||||||||||
стации чистых органиче- |
1,4 – 0,2 |
||||||||||||||||||||||||
галогенуглеводо- |
5·10-7 – 1,0% |
при n=5 |
|||||||||||||||||||||||
ских газов и жидкостей |
|
|
|||||||||||||||||||||||
|
|
роды и др. |
|
(для примесей) |
|
|
|||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
А2-1. Измерительная |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
99,5 – 99,999% |
0,8·10-2 – 2·10-5 |
|
||||||||||
установка для аттеста- |
|
С2Н4, С2Н6, бутаны, |
|
||||||||||||||||||||||
|
(для основного |
7·10-3 – 3·10-5 |
|||||||||||||||||||||||
ции чистых углеводо- |
|
|
при n=10 |
||||||||||||||||||||||
родов С1–С10 (в т. ч. бу- |
|
пентаны, гексаны |
компонента) |
1,8 – 0,1 |
1,8 – 0,2 |
||||||||||||||||||||
|
|
|
и др. |
|
|
1·10-4 – 0,5% |
|||||||||||||||||||
таны, пентаны, гексаны |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(для примесей) |
при n=10 |
|
||||||||||||
и др.) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
А2-2. Измерительная |
|
|
|
галогенуглеводо- |
|
|
|
||||||||||||||||||
|
|
|
роды, в т.ч. хлоро- |
|
|
|
|||||||||||||||||||
установка для аттеста- |
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||
|
форм, CCl4, фреон |
99,5 – 99,999% |
1·10-2 – 2·10-5 |
|
|||||||||||||||||||||
ции чистых органиче- |
|
|
|
||||||||||||||||||||||
ских веществ (в том |
|
|
|
12 и др., меркап- |
(для основного |
при n=5 |
6,8·10-3 – 2,8·10-5 |
||||||||||||||||||
|
|
|
таны, сероуглерод, |
компонента) |
|||||||||||||||||||||
числе ароматических, |
|
|
1,5 – 0,1 |
1,4 – 0,2 |
|||||||||||||||||||||
|
|
парафины С Н |
– |
5·10-3 – 1,0% |
|||||||||||||||||||||
кислород-, галоген- и |
|
|
при n=5 |
|
|||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
6 |
12 |
(для примесей) |
|
|||||||||||||
серосодержащих углево- |
С12Н24, арены С6Н6, |
|
|
||||||||||||||||||||||
С7Н8, С8Н10, спир- |
|
|
|
||||||||||||||||||||||
дородов и др.) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
ты, эфиры и др. |
|
|
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
А3. ИК- и УФ-спектро- |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
99,5 – 99,999% |
|
|
||||||||||||
метрическая установка |
|
NO, NO2, SO2, H2S, |
1·10-2 – 2·10-5 |
|
|||||||||||||||||||||
для аттестации примесей |
(для основного |
7,5·10-3 – 2,5·10-5 |
|||||||||||||||||||||||
при n=6 |
|||||||||||||||||||||||||
NO, NO2, H2S, меркапта- |
NH3, HCl, HF, мер- |
компонента) |
1,0 – 0,4 |
1,5 |
|||||||||||||||||||||
нов, SO , Cl , HCl, HF, F , |
каптаны и др. |
5·10-5 – 10% |
|||||||||||||||||||||||
при n=6 |
|
||||||||||||||||||||||||
|
|
|
2 |
|
2 |
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
COCl2, HCN и др. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(для примесей) |
|
|
||||||||
в чистых газах |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
340
Таблица 2. Состав и метрологические характеристики блоков А1–А3 ГЭТ 154
Обозначение |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Диапазон |
|
Отн. стандартная |
Отн. стандартная |
|
и наименование |
Определяемые |
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
измерений молярной |
|
неопределенность |
неопределенность |
|
|||||||
эталонных комплексов |
компоненты |
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
доли |
|
типа А, % |
типа В, % |
|
||||||
и установок |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
А4. Гравиметрический |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
комплекс для вопро- |
СО, СО2, О2, СН4, |
|
|
1·10-7 – 99,5% |
|
0,5 – 2·10-3 |
|
|
||||||
изведения единиц |
|
|
|
2,1 – 7·10-3 |
|
|||||||||
NO, NO2, H2S, SO2, |
|
Массовая концен- |
|
при n = 10 |
|
|||||||||
молярной доли и |
|
|
|
|||||||||||
бензол, толуол, кси- |
|
|
трация |
|
0,85 – 0,35 |
0,9 – 0,35 |
|
|||||||
массовой концентрации |
|
|
|
|
||||||||||
компонентов в газовых |
лолы и др. |
|
|
|
0,008 – 1500 мг/м3 |
|
при n = 10 |
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
смесях |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
А4-1. Гравиметрическая |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
установка для приготов- |
|
|
|
|
|
|
|
|
1·10-7 – 99,5% |
|
0,6 – 2·10-3 |
2,0 – 7·10-3 |
|
|
ления газовых смесей в |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
при n = 10 |
|
||||
баллонах под давлением |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
массой до 20 кг |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
А4-2. Гравиметрическая |
СО, СО2, О2, СН4, |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
установка для приготов- |
|
|
|
|
|
0,5 – 2·10-3 |
|
|
||||||
NO, NO |
|
, H |
|
S, SO |
|
, |
|
1·10-7 – 99,5% |
|
2,1 – 7·10-3 |
|
|||
ления газовых смесей в |
2 |
2 |
2 |
|
|
|
||||||||
баллонах под давлением |
бензол, толуол, кси- |
|
|
|
|
при n = 10 |
|
|
||||||
массой до 25 кг |
лолы и др. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
А4-3. Гравиметрическая |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
установка для приготов- |
|
|
|
|
|
|
|
|
1·10-7 – 99,5% |
|
0,5 – 2·10-3 |
2,0 – 7·10-3 |
|
|
ления газовых смесей в |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
при n = 10 |
|
||||
баллонах под давлением |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
массой до 100 кг |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
А4-4. Динамическая |
NO2, H2S, SO2, Cl2, |
|
Массовая кон- |
|
|
|
|
|||||||
гравиметрическая уста- |
HCl, HF, ацетон, |
|
|
|
|
0,85 – 0,35 |
0,9 – 0,35 |
|
||||||
новка для аттестации |
гексан, хлороформ, |
|
|
центрация |
|
|
||||||||
|
|
|
при n = 10 |
|
||||||||||
источников микропо- |
бензол, толуол, кси- |
|
0,008 – 1500 мг/м3 |
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
||||||||||
токов |
лолы и др. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
Таблица 3. Состав и метрологические характеристики блока А5 ГЭТ 154 |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Обозначение |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Диапазон |
|
Отн. стандартная |
Отн. стандартная |
|
и наименование |
Определяемые |
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
измерений молярной |
|
неопределенность |
неопределенность |
|
|||||||
эталонных комплексов |
компоненты |
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
доли |
|
типа А, % |
типа В, % |
|
||||||
и установок |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
А5. Фотометрическая |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
измерительная установ- |
|
|
|
|
|
|
|
|
3·10-7 – 1·10-3% |
|
5 – 2·10-3 |
0,9 |
|
|
ка для воспроизведения |
|
О3 |
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
при n = 10 |
|
||||||
единицы молярной доли |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
озона |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
В блок Б входят комплексы и установки для пере- |
− хроматографическом с ПИД для галогенсодержа- |
|||||||||||||
дачи единиц молярной доли и массовой концентрации |
щих, органических и углеводородных компонентов; |
|||||||||||||
компонентов в газовых смесях в диапазонах 2·10-8 % до |
− хроматографическом с ПИД для серосодержащих |
|||||||||||||
99,99999 % иот8,0·10-3 до1,5·103 мг/м3, со-ответственно. |
компонентов; |
|
|
|
||||||||||
Кроме того, аппаратура комплекса обеспечивает ва- |
−хроматографическомсдетекторомтеплопроводно- |
|||||||||||||
лидацию гравиметрического метода путем сравнения |
сти для постоянных и углеводородных газов; |
|||||||||||||
тождественных смесей, получаемых методами динами- |
− хроматографическом с ЭЗД для постоянных газов, |
|||||||||||||
ческого разбавления от чистых газов, газовых смесей и |
закиси азота и др.; |
|
|
|||||||||||
отисточниковмикропотоков. СтруктурноблокБсостоит |
−ИК-Фурье-спектрометрическомдляагрессивныхи |
|||||||||||||
из приборов, основанных на следующих методах: |
|
серосодержащих компонентов; |
|
|
||||||||||
− хромато-масс-спектрометрическом для органиче- |
− ИК-спектрометрическом для NO, SO2, СО, СO2, |
|||||||||||||
ских, серо- и галогенсодержащих компонентов; |
|
C3H8; |
|
|
|
341
Таблица 4. Состав и метрологические характеристики блока Б ГЭТ 154
Обозначение |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Диапазон |
Отн. стандартная |
Отн. стандартная |
|
и наименование |
Определяемые |
|
|
|
|
|
||||||||||||||
|
|
|
|
|
измерений молярной |
неопределенность |
неопределенность |
|||||||||||||
эталоных комплексов |
|
|
компоненты |
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
доли |
типа А, % |
типа В, % |
|||||||||||
и установок |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Б1. Комплекс для |
C2H6, C3H8, i-C4H10, |
|
|
|
||||||||||||||||
измерения молярной |
|
|
|
|||||||||||||||||
|
|
|
C4H10, C2H4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
доли компонентов в |
|
|
|
|
|
|
|
, |
1·10-4 – 100% |
0,9 – 2·10-4 |
0,75 – 0,01 |
|||||||||
многокомпонентных |
C H , CH , i-C H |
|
|
|
при n = 10 |
|||||||||||||||
3 |
|
|
6 |
|
4 |
|
5 |
|
12 |
|
|
|
|
|||||||
углеводородных газо- |
C5H12, C6H14, О2, N2, |
|
|
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
CO2, CO |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
вых смесях |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Б1-1. Установка для |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
измерения молярной |
C2H6, C3H8, i-C4H10, |
|
|
|
||||||||||||||||
доли компонентов в |
|
|
|
C4H10, C2H4 |
|
|
|
|
, |
1·10-4 – 100% |
0,9 – 2·10-4 |
0,8 – 0,01 |
||||||||
газовых смесях на |
C H , CH , i-C H |
|
|
|
при n = 10 |
|||||||||||||||
основе предельных и |
3 |
|
|
6 |
|
4 |
|
5 |
|
12 |
|
|
|
|
||||||
C5H12, C6H14, О2, N2, |
|
|
|
|||||||||||||||||
непредельных углево- |
|
CO2, CO и др. |
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
дородов |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Б1-2. Установка для |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
измерения молярной |
C2H6, C3H8, i-C4H10, |
|
|
|
||||||||||||||||
доли компонентов в |
|
|
|
|||||||||||||||||
C H |
|
, CH |
|
, i-C |
|
H |
|
|
|
, |
|
0,9 – 2·10-4 |
|
|||||||
газовых смесях – ими- |
|
|
|
|
|
|
1·10-4 – 100% |
0,75 – 0,01 |
||||||||||||
4 |
|
|
10 |
|
|
4 |
|
|
5 |
|
|
12 |
|
при n = 10 |
||||||
таторах природного |
C5H12, C6H14, О2, N2, |
|
|
|||||||||||||||||
|
CO2, CO и др. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
газа с содержанием |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
СН4 не менее 75% |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Б2. Установка для |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
измерения молярной |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
доли и массовой |
меркаптаны, H2S, |
|
|
|
|
|||||||||||||||
концентрации угле- |
бензол, толуол, |
|
|
|
|
1,7 – 0,2 |
|
|||||||||||||
водородов (С7 – С15), |
этилбензол, ксилолы, |
5·10-7 – 1% |
1,2 – 0,05 |
|||||||||||||||||
при n = 5 |
||||||||||||||||||||
галоген-, кислород- и |
метанолы, этанол, |
|
|
|||||||||||||||||
|
|
|
||||||||||||||||||
серосодержащих орга- |
|
фреоны и др. |
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
нических соединений |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
в газовых смесях |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Б3. Комплекс для |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
измерения моляр- |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ной доли CO, CO2, |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
CH4, C3H8, NO, SO2, |
CO, CO2, CH4, C3H8, |
|
|
|
||||||||||||||||
О2, C2H5OH, СН2О, |
3·10-5 – 100% |
0,8 – 0,01 |
0,3 – 0,006 |
|||||||||||||||||
О , Н , Ar, Не, N , |
|
|||||||||||||||||||
бензола, толуола, |
2 |
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|||
ксилолов, ацетона |
|
C2H5OH и др. |
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
и др. в бинарных и |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
многокомпонентных |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
газовых смесях |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Б3-1. ИК-спектро- |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
метрическая измери- |
СН4, С6Н6, NH3, CO, |
|
0,8 – 0,1 |
|
||||||||||||||||
тельная установка для |
CO , NO, NO , CS , |
5·10-5 – 100% |
0,7 – 0,2 |
|||||||||||||||||
при n = 10 |
||||||||||||||||||||
аттестации бинарных |
|
|
2 |
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
2 |
|
|
||||
SF6, SO2, H2S и др. |
|
|
|
|||||||||||||||||
газовых смесей |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Б3-2. ИК-фурье- |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
спектрометрическая |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
измерительная уста- |
CO, CO2, CH4, C3H8, |
5·10-5 – 10% |
0,9 – 0,02 |
0,3 – 0,02 |
||||||||||||||||
новка для аттестации |
|
C2H5OH и др. |
|
|
|
|
|
|
при n = 10 |
|
||||||||||
многокомпонентных |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
газовых смесей |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
342
Б3-3. Магнитомехани- |
|
|
|
|
|
|
|
|
0,04 – 0,01 |
|
|||
ческая установка для |
|
|
О2 |
|
|
|
0,1 – 99,5% |
0,08 – 0,006 |
|||||
измерения молярной |
|
|
|
|
|
при n = 10 |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
доли кислорода |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
Б4. Комплекс для |
|
|
|
|
|
|
|
2·10-8 – 5·10-6% |
|
|
|||
измерения молярной |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
(для H2S, SO2, NO, |
2,3 |
|
|||||
доли и массовой |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
NO, NO2, NH3, H2S, |
|
NO2 и NH3 как фо- |
при n = 10 |
|
|||||||
концентрации NO, |
|
|
2,3 |
||||||||||
|
|
новых примесей в |
2,3 – 0,01 |
||||||||||
NO2, NH3, H2S, SO2, |
SO2, Cl2, HCl, HF, F2 |
|
2,3 – 0,01 |
||||||||||
|
чистом газе) |
при n = 10 |
|||||||||||
Cl2, HCl, HF, F2 и др. |
и др. |
|
|
|
1,0 – 0,3 |
||||||||
|
|
|
5·10-6 – 100% |
0,75 – 0,35 |
|||||||||
в газовых смесях на |
|
|
|
|
|
|
массовая концентрация |
при n = 10 |
|
||||
основе химически |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
0,03 – 5·102 мг/м3 |
|
|
||||
активных газов |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Б4-1. Установка для |
|
|
|
|
|
|
2·10-8 – 5·10-6% |
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
(для H2S, SO2, NO, |
2,3 |
|
|||||
измерения молярной |
|
|
|
|
|
|
NO2 и NH3 как фо- |
|
|||||
H2S, SO2, NO, NO2, |
|
при n = 10 |
2,3 |
||||||||||
доли и массовой кон- |
|
новых примесей в |
|||||||||||
|
2,3 – 0,2 |
2,3 – 0,15 |
|||||||||||
центрации H2S, SO2, |
NH3, С6Н6, СН2О |
|
чистом газе) |
||||||||||
|
при n = 10 |
1,0 – 0,3 |
|||||||||||
NO, NO , NH , С Н и |
|
|
|
|
|
|
5·10-6 – 2·10-2 |
||||||
|
|
|
|
|
|
0,75 – 0,35 |
|
||||||
2 |
3 |
6 |
6 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
СН2О |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
массовая концентрация |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,03 – 5·102 мг/м3 |
|
|
|
Б4-2. Установка для |
|
|
|
|
|
|
|
|
3,5 – 0,1 |
|
|||
измерения молярной |
Cl и HF |
|
|
5·10-7 – 0,10% |
1,5 – 0,2 |
||||||||
доли и массовой кон- |
|
|
при n = 3 |
||||||||||
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
центрации Cl2 и HF |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
Б4-3. Установка для |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
измерения массовой |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
концентрации F2, HF, |
F2, HF, HCl, NH3, СО2, |
|
|
|
|
|
|||||||
HCl, NH3, СО2, фос- |
|
5·10-6 – 100% |
3 – 0,01 |
3,5 – 0,01 |
|||||||||
фосген, арсин, амины |
|
||||||||||||
гена, арсина, аминов |
и др. |
|
|
|
|
|
при n=5 |
|
|||||
и др., в том числе в |
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
увлажненных газовых |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
смесях |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
Б5. Установка для |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
динамического мас- |
СО, СО , О , СН , |
|
1·10-7 – 10% |
1,6 – 0,15 |
|
||||||||
штабного преобразо- |
|
1,5 – 0,15 |
|||||||||||
вания молярной доли |
|
|
2 |
2 |
4 |
|
массовая концентрация |
0,75 – 0,35 |
|||||
NO, NO2, SO2, бензол, |
|
0,83 – 0,37 |
|||||||||||
и массовой концен- |
толуол, ксилолы и др. |
|
8·10-3 – 1,5·103 мг/м3 |
при n = 15 |
|||||||||
|
|
||||||||||||
трации компонентов в |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
газовых смесях |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
Б6. Комбинированная |
|
|
О3 |
|
|
|
3·10-7 – 1·10-3 |
5 – 2·10-3 |
1,1 |
||||
установка на озон |
|
|
|
|
|
|
при n = 10 |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
||||||||
− оптико-акустическом для СО, СO2, СH4, C3H8, |
ОбобщенныеметрологическиехарактеристикиГосу- |
||||||||||||
C2H5ОН; |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
дарственногопервичногоэталонаединицмолярнойдоли |
||
− интерферометрическом для O2, H2, СH4, C3H8, Ar, |
имассовойконцентрациикомпонентоввгазовыхсредах |
||||||||||||
He, N2; |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(ГЭТ 154-2011) следующие. |
|
|
− магнито-механическом для O2; |
|
|
|
|
Единицамолярнойдоликомпонентоввчистыхгазах |
||||||||
− хемилюминесцентном для NO, NO2 и NH3; |
|
игазовыхсмесяхвоспроизводитсявдиапазонезначений |
|||||||||||
− флуоресцентном для H2S, SO2; |
|
|
|
|
2·10-8 – 99,99999%. |
|
|||||||
− спектральном на основе подвижности ионов для |
Первичный эталон обеспечивает воспроизведение |
||||||||||||
Cl2 и HF; |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
единицы молярной доли компонентов в чистых газах и |
||
− оптико-абсорбционном с использованием оптиче- |
газовых смесях со средним квадратическим отклонени- |
||||||||||||
ских корреляционных фильтров для C6H6 и СH2О; |
|
ем результата измерений от 2,4% (на нижней границе |
|||||||||||
− фотометрическом для O3. |
|
|
|
|
|
|
диапазона значений) до 3,0·10-7% (на верхней границе |
||||||
Метрологические характеристики эталонных ком- |
диапазона значений) при проведении 10 независимых |
||||||||||||
плексов, входящих в блок Б, приведены в таблице 4. |
измерений. |
|
|
343
Неисключенная систематическая погрешность от |
Относительная расширенная неопределенность от |
||||
5,6 % до4,0·10-6 % придоверительнойвероятностиР=0,95. |
2,5% до 1,02% при k=2. |
|
|||
Относительная стандартная неопределенность: |
|
|
|||
– оцененная по типу А – от 2,4% до 3,0·10-7% при |
Назначение и область применения |
||||
проведении 10 независимых измерений; |
|
||||
|
|
|
|||
– оцененная по типу В – от 2,3% до 1,6·10-6%. |
Государственный первичный эталон ГЭТ 154-2011 |
||||
Относительнаясуммарнаястандартнаянеопределен- |
|||||
предназначен для воспроизведения и передачи единиц |
|||||
ность от 3,3% до 1,6·10-6%. |
|
молярной доли и массовой концентрации газовых ком- |
|||
Относительная расширенная неопределенность от |
|||||
понентов в газовых средах. |
|
||||
6,6 % до 3,2·10-6% при k=2. |
|
|
|
||
Единица массовой концентрации компонентов в |
|
|
|||
газовых смесях воспроизводится в диапазоне значений |
Международное сотрудничество. Сличения |
||||
8,0·10-3 – 1,5·103 мг/м3. |
|
|
|
||
Первичный эталон обеспечивает воспроизведение |
За все время проведения международных ключевых |
||||
единицы массовой концентрации со средним квад- |
сличенийэталонГЭТ154 принялучастиев66 ключевых |
||||
ратическимотклонениемрезультатаизмеренийот0,85% |
сличениях (по данным на апрель 2015 г.), проведенных |
||||
(на нижней границе диапазона значений) до 0,35% (на |
в рамках рабочей группы по газовому анализу, что по- |
||||
верхней границе диапазона значений) при проведении |
зволило опубликовать на сайте Международного бюро |
||||
15 независимых измерений. |
|
мер и весов в базе данных высших измерительных и |
|||
Неисключенная систематическая погрешность от |
калибровочныхвозможностей(КИВ) KCDB (http://kcdb. |
||||
2,2% до 0,9% при доверительной вероятности Р=0,95. |
bipm.org/) КИВвколичестве446 позиций(поданнымна |
||||
Относительная стандартная неопределенность: |
апрель 2015 г.). Такое количество, а также метрологиче- |
||||
– оцененная по типу А – от 0,85% до 0,35% при про- |
скиехарактеристикизаявленныхКИВпозволяютсделать |
||||
ведении 15 независимых измерений; |
|
вывод о лидирующих позициях РФ в области газового |
|||
– оцененная по типу В – от 0,91 % до 0,37%. |
анализанарядустакимистранами, какВеликобритания, |
||||
Относительнаясуммарнаястандартнаянеопределен- |
США, Нидерланды, Корея, Китай. Перечень ключевых |
||||
ность от 1,25% до 0,51%. |
|
сличений с участием ГЭТ 154 приведен в таблице 5. |
|||
|
|
Таблица 5. Перечень ключевых сличений с участием ГЭТ 154 |
|||
|
|
|
|
|
|
Номер сличений |
|
|
Наименование |
Год проведения |
|
|
|
|
|
|
|
CCQM-K1b |
|
|
СО2 в азоте |
1993 |
|
NMi-VNIIM |
|
|
СО в азоте |
1993 |
|
|
|
|
|
|
|
CCQM-K1a |
|
|
СО в азоте |
1994 |
|
|
|
|
|
|
|
VNIIM-NMi |
|
|
СО в азоте |
1994 |
|
|
|
|
|
|
|
CCQM-K1c |
|
|
NO в азоте |
1995 |
|
|
|
|
|
|
|
CCQM-K1d |
|
|
SO2 в азоте |
1996 |
|
CCQM-K1e,f,g |
|
|
Природный газ |
1997 |
|
|
|
|
|
||
CCQM-K3 |
|
Автомобильные выбросы: СО, СО2, пропан в азоте |
1998 |
||
CCQM-K4 |
|
Пары этанола в воздухе |
1999 |
||
|
|
|
|
||
CCQM-K7 |
|
BTX (бензол, толуол, ксилол) – 50 ppb в азоте |
1999 |
||
|
|
|
|
||
CCQM-P23 |
|
Гравиметрия в газовом анализе |
2000 |
||
|
|
|
|
|
|
EUROMET. QM-K4 |
|
|
Этанол в воздухе |
2000 |
|
|
|
|
|
||
CCQM-K10 |
|
BTX (бензол, толуол, ксилол) – 5 ppb в азоте |
2001 |
||
|
|
|
|
|
|
CCQM-K16а,b |
|
|
Природный газ |
2001 |
|
|
|
|
|
|
|
EUROMET.QM-K1.c |
|
|
NO в азоте |
2002 |
|
|
|
|
|
||
CCQM-K15 |
|
SF6 и CF4 в азоте (на уровне выбросов) |
2003 |
||
CCQM-K22 |
|
Летучие органические вещества в воздухе |
2003 |
||
|
|
|
|
||
COOMET 289/RU/03 |
|
O2, H2, CH4, CO в азоте |
2003 |
||
FMI-VNIIM |
|
Озон в окружающей среде |
2003 |
||
|
|
|
|
|
344
EUROMET 764 |
NH3 в азоте |
2004 |
CCQM-K26a |
Химически активные газы: NO в азоте |
2004 |
|
|
|
CCQM-P28 |
Озон на атмосферном уровне |
2004 |
|
|
|
CCQM-K26b |
Химически активные газы: SO2 в воздухе |
2004 |
CCQM-K41 |
H2S в азоте |
2004 |
CCQM-K23a,c |
Природный газ |
2004 |
|
|
|
CCQM-K23b |
Природный газ |
2005 |
|
|
|
COOMET.QM-K3 |
Автомобильные газы (СO, CO2, C3H8) в азоте |
2005 |
CCQM-K54 |
н-Гексан в метане |
2006 |
|
|
|
CCQM-P87 |
Исследование возможностей приготовления много- |
2006 |
|
компонентных смесей |
|
|
|
|
CCQM-P73 |
Оксид азота, гравиметрические смеси – 30-70 ppm |
2006 |
|
|
|
CCQM-K53 |
Кислород в азоте |
2006 |
|
|
|
CCQM-K52 |
Диоксид углерода в воздухе |
2006 |
|
|
|
CCQM-K46 |
Аммиак в азоте |
2007 |
|
|
|
BIPM.QM-K1 |
Озон на атмосферном уровне |
2007 |
|
|
|
COOMET.QM-K23b |
Природный газ |
2007 |
|
|
|
COOMET.QM-K1a |
CO в азоте 100 и 1000 ppm |
2007 |
|
|
|
CCQM-K51 |
CO в азоте (5 ppm) |
2008 |
|
|
|
ССQM-K65 |
Меркаптаны в метане |
2008 |
|
|
|
CCQM-K71 |
Дымовые газы |
2008 |
|
|
|
ССQM-K66 |
Анализ чистоты метана |
2009 |
|
|
|
CCQM-K68 |
N2O на атмосферном уровне |
2009 |
|
|
|
CCQM-K74 |
Диоксид азота 10 ppm |
2009 |
|
|
|
CCQM-K76 |
Диоксид серы в азоте (100 ppm) |
2010 |
|
|
|
CCQM-K77 |
Нефтезаводской газ |
2010 |
|
|
|
EURO.QM-K4 |
Этанол в азоте |
2010 |
|
|
|
АРМР.QM-К41 |
Сероводород в азоте |
2010 |
|
|
|
CCQM-K84 |
Оксид углерода в воздухе (300 ppb) |
2011 |
|
|
|
COOMET.QM-S1 |
Оксид азота в азоте (50 ppm) |
2011 |
|
|
|
COOMET.QM-K76 |
Диоксид серы в азоте (100 ppm) |
2011 |
|
|
|
CCQM-K93 |
Этанол в азоте |
2011 |
|
|
|
COOMET.QM-S2 |
Метан в синтетическом воздухе (100 ppm) |
2012 |
|
|
|
ССQM-K82 |
Метан в воздухе на атмосферном уровне (2ppm) |
2012 |
|
|
|
CCQM-K94 |
Диметилсульфид в азоте (диапазон: 5-20 ppm) |
2012 |
|
|
|
CCQM-K101 |
Кислород в азоте на уровне 10 ppm |
2013 |
|
|
|
COOMET.QM-S3 |
CO в синтетическом воздухе (3 ppm) |
2013 |
|
|
|
CCQM-K90 |
Формальдегид в азоте (1–10 ppm) |
2015 |
|
|
|
CCQM-K111 |
Пропан в азоте (1000 ppm) |
2014 |
|
|
|
EURAMET 1220 |
Анализ примесей в водороде |
2014 |
|
|
|