2.Практическая часть
Вывод: Получили промежуточные константы: коэффициенты ядерной и электронной замедляющих способностей, полный пробег иона, его дисперсию, проективный пробег иона и его дисперсию. Получили профиль распределения примеси в 2-d координатах. Графическим способом рассчитали глубину залегания p-n перехода при условии полной активации примеси. Для этого из меню «Format» вызвали функцию «Trace». Сравнили полученные результаты с расчетными. Рассчитали величину максимальной концентрации примеси и глубину ее залегания. Подобрали дозу и энергию имплантации, необходимые для получения требуемой глубины залегания p-n перехода и поверхностной концентрации примеси либо глубины залегания верхней границы области, в соответствии с заданием.
3.Контрольные вопросы
Дайте определение, что такое полный пробег иона, проекция пробега и их дисперсии?
Полный пробег иона – длина пути, который прошел ион до остановки.
Проекция пробега иона – пробег в направлении первоначальной траектории движения иона.
Дисперсия пробега иона – среднее квадратическое отклонение пробега.
Поясните, в чем заключается метод расчета по типу «сдвоенная гауссиана»?
Метод заключается в расчет посредством численного решения транспортного уравнения Больцмана.
Объясните, что такое распределение Пирсона?
Распределение Пирсона — непрерывное распределение вероятностей, плотность вероятности которого является решением дифференциального уравнения.