- •1. Элементы конструкции имс.
- •2. Конструктивно-технологические типы имс.
- •3.1 Подложки плёночных и гибридных имс.
- •3.2 Подложки плёночных и гибридных имс.
- •4. Толстоплёночные имс.
- •5.1 Нанесение толстых плёнок: пасты и трафареты.
- •5.2 Нанесение толстых плёнок: пасты и трафареты.
- •6.1 Расчёт и проектирование плёночных резисторов.
- •6.2 Расчёт и проектирование плёночных резисторов.
- •7.1 Расчёт и проектирование плёночных конденсаторов.
- •7.2 Расчёт и проектирование плёночных конденсаторов.
- •7.3 Расчёт и проектирование плёночных конденсаторов.
- •8. Расчёт и проектирование плёночных проводников и контактных площадок.
- •9.1 Нанесение тонких плёнок в вакууме.
- •9.2 Нанесение тонких плёнок в вакууме.
- •10. Термическое вакуумное напыление.
- •11.1 Катодное распыление.
- •11.2 Катодное распыление.
- •12.1 Ионно-плазменное напыление.
- •12.2 Ионно-плазменное напыление.
- •13.1 Магнетронное распыление.
- •13.2 Магнетронное распыление.
- •14.1 Электролитическое осаждение.
- •14.2 Электролитическое осаждение.
- •15. Химическое осаждение.
- •16. 1Анодное окисление.
- •16. 2Анодное окисление.
- •17. 1Получение различных конфигураций тонкоплёночных структур.
- •17. 2Получение различных конфигураций тонкоплёночных структур.
- •17. 3Получение различных конфигураций тонкоплёночных структур.
- •18.1 Изготовление тонкоплёночных гибридных имс.
- •18.2Изготовление тонкоплёночных гибридных имс.
- •18.3 Изготовление тонкоплёночных гибридных имс.
- •18. 4Изготовление тонкоплёночных гибридных имс.
- •20.1 Проектирование бип. Транзисторов полупроводниковых имс.
- •20.2 Проектирование бип. Транзисторов полупроводниковых имс.
- •20.3 Проектирование бип. Транзисторов полупроводниковых имс.
- •21.1 Расчет и проектирование диодов полупроводниковых имс.
- •21.2 Расчет и проектирование диодов полупроводниковых имс.
- •21.3 Расчет и проектирование диодов полупроводниковых имс.
- •21.4 Расчет и проектирование диодов полупроводниковых имс.
- •22.1 Расчет и проектирование п/п конденсаторов.
- •22.2 Расчет и проектирование п/п конденсаторов.
- •23.1 Pасчет и проектирование диффузионных резисторов полупроводниковых имс.
- •23.2 Pасчет и проектирование диффузионных резисторов полупроводниковых имс.
- •23.3 Pасчет и проектирование диффузионных резисторов полупроводниковых имс.
- •23.4 Pасчет и проектирование диффузионных резисторов полупроводниковых имс.
- •24.1 Металлизация п/п структур.
- •24.2 Металлизация п/п структур.
- •24.3 Металлизация п/п структур.
- •25.1 Изготовление полупроводниковых биполярных имс с изоляцией р-п переходом.
- •25.2 Изготовление полупроводниковых биполярных имс с изоляцией р-п переходом.
- •25.3 Изготовление полупроводниковых биполярных имс с изоляцией р-п переходом.
- •25.4 Изготовление полупроводниковых биполярных имс с изоляцией р-п переходом.
- •25.5 Изготовление полупроводниковых биполярных имс с изоляцией р-п переходом.
- •26.1 Изготовление биполярных имс с диэлектрической изоляцией.
- •27.1 Изготовление биполярных имс с комбинированной изоляцией.
- •28. Изготовление мдп-имс.
- •30.1 Ограничения и проблемы при изготовлении бис.
- •30.2 Ограничения и проблемы при изготовлении бис.
- •30.3 Ограничения и проблемы при изготовлении бис.
- •31. Основные этапы расчёта и проектирования бис.
- •32. Методы и автоматизация проектирования бис.
- •33.1 Корпуса для имс.
- •33.2 Корпуса для имс.
- •34. Основные направления функциональной микроэлектроники.
- •35.1 Оптоэлектроника.
- •35.2 Оптоэлектроника.
- •36.1 Акустоэлектроника.
- •36.2 Акустоэлектроника.
- •36.2 Акустоэлектроника.
- •37.1 Магнетоэлектроника.
- •37.2 Магнетоэлектроника.
- •38.1 Проборы на эффекте Ганна.
- •38.2 Проборы на эффекте Ганна.
- •39.1 Диэлектрическая электроника.
- •39.2 Диэлектрическая электроника.
- •40.1 Криогенная электроника.
- •41.1 Молекулярная электроника и биоэлектроника.
- •4 1.2 Молекулярная электроника и биоэлектроника.
30.3 Ограничения и проблемы при изготовлении бис.
минимальные размеры топологического рисунка составляют 1 мкм и менее.
31. Основные этапы расчёта и проектирования бис.
Процесс проектирования БИС можно разбить на отдельные этапы:
1) определение функциональной сложности БИС;
2) выбор типа базового элемента – ИМС первой или второй степени интеграции;
3) определение функционального состава БИС – числа базовых и других элементов;
4) электрический, топологический и конструктивный расчеты;
5) разработка топологической структуры и системы межэлементных соединений;
6) разработка корпуса;
7) разработка системы тестов для проверки функционирования БИС;
8) разработка конструкторско-технологической документации. При проектировании БИС рекомендуется такая последовательность расчетов:
а) статический расчет элементов для определения параметров активных и пассивных элементов, напряжений питания, потребляемой мощности, статической помехоустойчивости;
б) анализ динамических характеристик элементов схемы и системы в целом;
в) определение оптимальных электрических параметров функциональных структур;
г) расчет оптимальной топологической карты размещения элементов на кристалле;
д) определение требований к конструктивным параметрам элементов;
е) статистический (вероятностный) расчет с учетом технологического разброса параметров элементов, разработка требований к параметрам схем;
ж) расчет геометрии элементов и формирование требований к технологическому процессу;
з) расчет и конструирование корпуса;
и) разработка системы тестов для проверки функционирования БИС.
32. Методы и автоматизация проектирования бис.
Непрерывное повышение степени интеграции БИС, создание СБИС приводит к резкому увеличению затрат времени на их проектирование. При этом существенно возрастает и стоимость проектирования. Поэтому постоянно происходит поиск методов, направленных на повышение производительности труда разработчиков БИС и СБИС. В настоящее время наибольшее распространение получили три основных метода проектирования БИС: полностью заказное, полузаказное на основе вентильных матриц (базовых матричных кристаллов) и полузаказное на основе стандартных ячеек.
Метод заказного проектирования основан на оптимальном размещении элементов на кристалле или элементов и компонентов на плате, обеспечивающем экономное использование площади кристалла (платы), повышение процента выхода годных изделий и снижение стоимости разрабатываемой БИС. Данный метод применяют при создании полупроводниковых и гибридных БИС, к которым предъявляются высокие требования по техникоэксплуатационным параметрам и надежностным характеристикам. Он предусматривает полное удовлетворение требований заказчика при создании и изготовлении законченной конструкции БИС.
Метод вентильных матриц основан на использовании полупроводниковых пластин с предварительно сформированными элементами и библиотеки возможных соединений их в различные схемы. По заданию заказчика проектировщик получает конкретную схему БИС определенного функционального назначения.
Метод стандартных ячеек основан на использовании библиотеки топологических решений для предварительного размещения набора ячеек в виде регулярных полос, разделенных свободными зонами для последующего выполнения внутрисхемных соединений. Эти соединения, определяющие функциональные возможности БИС, создаются в соответствии с заданной заказчиком электрической схемой на заключительном этапе проектирования.