1
.3.pdfPage 1
Зонная плавка 3.vi G:\ТМиЭТ\Зонная плавка 3.vi Last modified on 09.12.2018 at 17:17
Printed on 09.12.2018 at 17:20
Выращивание кристаллов методом зонной плавки |
Примесь 1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Исходные данные: |
|
|
|
Примесь 2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
Примесь 3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Тип расчета |
|
|
1,00E+15 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
x, см |
C_T1(x) |
C_T2(x) |
C_T3(x) |
|
Материал |
1 |
Первая примесь |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,00 |
5,04E+12 |
5,43E+12 |
6,42E+12 |
|
2 |
Первая примесь летучая, вторая нелетучая |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,05 |
5,13E+12 |
5,53E+12 |
6,53E+12 |
||||
Si |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
3 |
Три графика для трех примесей |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,10 |
5,21E+12 |
5,62E+12 |
6,63E+12 |
|||
|
4 |
Первая примесь после одного прохода, вторая после многих |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,15 |
5,29E+12 |
5,71E+12 |
6,74E+12 |
||||
|
Примесь 1 |
|
Примесь 2 |
|
Примесь 3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,20 |
5,38E+12 |
5,80E+12 |
6,85E+12 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,25 |
5,46E+12 |
5,89E+12 |
6,96E+12 |
||||
|
|
Zn |
|
Zn |
|
Zn |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,30 |
5,55E+12 |
5,98E+12 |
7,06E+12 |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
Условия выращивания: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,35 |
5,63E+12 |
6,07E+12 |
7,17E+12 |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,40 |
5,71E+12 |
6,16E+12 |
7,28E+12 |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
Скорость |
f (мм/мин) (см/c) |
f (мм/мин) (см/c) |
f (мм/мин) (см/c) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,45 |
5,80E+12 |
6,25E+12 |
7,38E+12 |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,50 |
5,88E+12 |
6,34E+12 |
7,49E+12 |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
кристаллизации |
|
0,50 |
0,0008 |
5,00 |
0,0083 |
15,00 |
0,0250 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,55 |
5,97E+12 |
6,43E+12 |
7,60E+12 |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
Длина расплавленной |
|
L0 (см) |
|
L0 (см) |
|
L0 (см) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,60 |
6,05E+12 |
6,52E+12 |
7,70E+12 |
|
|
|
|
|
|
|
1,00E+14 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,65 |
6,13E+12 |
6,61E+12 |
7,81E+12 |
|
зоны |
|
3,00 |
|
3,00 |
|
3,00 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,70 |
6,22E+12 |
6,70E+12 |
7,92E+12 |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
Диаметр кристалла |
|
DКР (мм) |
(см) |
DКР (мм) |
(см) |
DКР (мм) |
(см) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,75 |
6,30E+12 |
6,79E+12 |
8,03E+12 |
|
50,00 |
5,00 |
50,00 |
5,00 |
50,00 |
5,00 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,80 |
6,39E+12 |
6,88E+12 |
8,13E+12 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
L (см) |
|
L (см) |
|
L (см) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,85 |
6,47E+12 |
6,97E+12 |
8,24E+12 |
Длина слитка |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,90 |
6,55E+12 |
7,06E+12 |
8,35E+12 |
|||
|
60,00 |
|
60,00 |
|
60,00 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,95 |
6,64E+12 |
7,16E+12 |
8,45E+12 |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
Начальная |
|
C0 (см-3) |
|
C0 (см-3) |
|
C0 (см-3) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1,00 |
6,72E+12 |
7,25E+12 |
8,56E+12 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1,05 |
6,81E+12 |
7,34E+12 |
8,67E+12 |
|
концентрация примеси |
|
5,00E+17 |
|
5,00E+17 |
|
5,00E+17 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1,10 |
6,89E+12 |
7,43E+12 |
8,77E+12 |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
Концентрация примеси |
|
CП (см-3) |
|
CП (см-3) |
|
CП (см-3) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1,15 |
6,97E+12 |
7,52E+12 |
8,88E+12 |
в подпитывающем слое |
|
5,00E+17 |
|
5,00E+17 |
|
5,00E+17 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1,20 |
7,06E+12 |
7,61E+12 |
8,99E+12 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1,25 |
7,14E+12 |
7,70E+12 |
9,10E+12 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1,30 |
7,23E+12 |
7,79E+12 |
9,20E+12 |
Справочные и рассчитанные параметры технолог. процесса: |
|
1,00E+13 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1,35 |
7,31E+12 |
7,88E+12 |
9,31E+12 |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1,40 |
7,39E+12 |
7,97E+12 |
9,42E+12 |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
Равновесный коэффициент |
k0 |
|
|
k0 |
|
k0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1,45 |
7,48E+12 |
8,06E+12 |
9,52E+12 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1,50 |
7,56E+12 |
8,15E+12 |
9,63E+12 |
||||
распределения |
1,00E-5 |
|
1,00E-5 |
|
1,00E-5 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1,55 |
7,65E+12 |
8,24E+12 |
9,74E+12 |
|||||
|
a |
|
|
a |
|
a |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
Линейный коэффициент |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1,60 |
7,73E+12 |
8,33E+12 |
9,84E+12 |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
0,00E+0 |
|
0,00E+0 |
|
0,00E+0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1,65 |
7,81E+12 |
8,42E+12 |
9,95E+12 |
||
испарения |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1,70 |
7,90E+12 |
8,51E+12 |
10,06E+12 |
|
Коэффициент диффузии |
D |
|
|
D |
|
D |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
1,00E-4 |
|
1,00E-4 |
|
1,00E-4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1,75 |
7,98E+12 |
8,60E+12 |
10,17E+12 |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1,80 |
8,07E+12 |
8,70E+12 |
10,27E+12 |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
k |
|
|
k |
|
k |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1,85 |
8,15E+12 |
8,79E+12 |
10,38E+12 |
Эффективный коэффициент |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1,90 |
8,23E+12 |
8,88E+12 |
10,49E+12 |
|||
распределения |
1,01E-5 |
|
1,09E-5 |
|
1,28E-5 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1,95 |
8,32E+12 |
8,97E+12 |
10,59E+12 |
|
Приведенный |
kИ |
|
|
kИ |
|
kИ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2,00 |
8,40E+12 |
9,06E+12 |
10,70E+12 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2,05 |
8,49E+12 |
9,15E+12 |
10,81E+12 |
|
коэффициент испарения |
0,00E+0 |
|
0,00E+0 |
|
0,00E+0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
1,00E+12 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2,10 |
8,57E+12 |
9,24E+12 |
10,91E+12 |
|||||
|
kОБ |
|
kОБ |
|
kОБ |
|
|
|
|
10,0 |
12,5 |
15,0 |
17,5 |
20,0 |
22,5 |
25,0 |
27,5 |
30,0 |
32,5 |
35,0 |
37,5 |
40,0 |
42,5 |
45,0 |
47,5 |
50,0 |
52,5 |
55,0 |
57,5 |
60,0 |
||||||
Обобщенный коэффициент |
|
|
|
0,0 |
2,5 |
5,0 |
7,5 |
2,15 |
8,66E+12 |
9,33E+12 |
11,02E+12 |
|||||||||||||||||||||||||
распределения |
1,01E-5 |
|
1,09E-5 |
|
1,28E-5 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
x, см |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2,20 |
8,74E+12 |
9,42E+12 |
11,13E+12 |
|
|
k*C0 |
|
k*C0 |
|
k*C0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
5,04E+12 |
|
5,43E+12 |
|
6,42E+12 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|