Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Физические основы оптоэлектроники.-1

.pdf
Скачиваний:
7
Добавлен:
05.02.2023
Размер:
2.37 Mб
Скачать

 

 

 

j(диф)

 

qD

n

, j(диф)

qD

p

,

(5.14)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

n

 

n

x

p

p

x

 

 

где Dn

kT

n, Dp

 

kT

 

коэффициенты диффузии электронов и

 

 

 

 

p

q

 

q

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

дырок, соответственно. Поскольку они являются константами вещества, то, зная градиенты концентраций, по выражениям (5.14) можно найти величины диффузионных токов.

5.2. ПРИМЕРЫ РЕШЕНИЯ ЗАДАЧ ПО ВЫЧИСЛЕНИЮ ЗОННОГО СПЕКТРА ПОЛУПРОВОДНИКА И ТОКОПЕРЕНОСУ

При решении задач раздела необходимо пользоваться справочными данными по численным значениям параметров полупроводников различного физико-химического состава. Эти данные собраны в конце учебно-методического пособия.

Задача 1. Вычислить положение уровня Ферми в кремнии относительно потолка валентной зоны, если известно, что данный кри-

сталл находится при температуре T 300 K и содержит 1.4 1013 атомов фосфора в 1 см3. При решении учесть, что атомы фосфора дают энергетический уровень донорного типа, который лежит в запрещенной зоне практически точно по дну зоны проводимости.

Решение. Для определения энергетического положения уровня Ферми в заданных условиях необходимо воспользоваться выражени-

ем (5.3):

F Ei

3

kT ln

mp

kT ln

ni

.

4

m

n

n0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Здесь равновесная концентрация n0 задается донорной примесью:

 

Nd

exp

 

EC

F

 

 

n0 Nd 1 f EC

 

kT

 

.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

EC

F

 

1

exp

 

 

 

kT

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Строго говоря, имеем трансцендентное уравнение относительно F

21

 

3

 

mp

 

n

i

 

F E

 

F Ei

 

kT ln

 

 

kT ln

 

kT ln 1 exp

C

, (5.15)

4

m

n

Nd

kT

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

которое можно решить приближенным методом, если F EC 3kT . Это означает, что если донорный уровень находится выше уровня Ферми на единицы kT , то он полностью ионизован. Тогда последнее слагаемое в выражении (5.15) можно разложить в ряд по малому параметру

ln 1 exp

F EC

exp

F EC

exp 3

1

0.05

kT

kT

20

 

 

 

 

и увидеть, что в рассматриваемом случае ln 1 можно с высокой степенью точности считать равным ln 1 , что дает нуль. В результате приходим к следующему выражению для положения уровня Ферми в легированном полупроводнике:

F Ei

3

kT ln

mp

kT ln

ni

.

4

m

n

Nd

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Если считать положение уровня Ферми в электроновольтах (эВ), то это выражение следует разделить на заряд электрона:

F Ei

3

 

kT

ln

mp

 

kT

ln

ni

,

(5.16)

4

 

q

m

 

q

Nd

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

n

 

 

 

 

 

 

где Ei - задано уже в электроновольтах. Подстановка численных значений в (5.16) дает

F 0.56

 

3 1.38

10

23 300

ln

0.16

1.38 10 23 300

ln

1.4

1010

 

4

 

 

 

19

 

0.19

 

 

19

 

 

 

1013

 

 

1.6 10

 

 

 

1.6 10

 

 

 

1.4

0.56

3

1.38 10 23 300

ln

0.16

 

1.38 10 23

300

ln

1.4

1010

 

4

 

 

 

10 19

 

0.19

 

 

1.6 10 19

 

1013

 

 

1.6

 

 

 

1.4

 

0.56

1.9 10

2

ln

16

0.078 ln 10 0.56 0.019

0.15

0.078 2.3

 

 

 

 

 

 

19

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0.56

0.003

0.18

 

0.74 .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

22

Из проведенного расчета следует важный вывод: изменение положение уровня Ферми за счет различия эффективных масс носителей заряда оказывается пренебрежимо малым по сравнению с другими слагаемыми в (5.16) и поэтому неважно: какие рассматривать электроны и дырки (легкие или тяжелые) – результат будет практически один и тот же. Такая ситуация характерна для подавляющего большинства практически важных случаев. Поэтому при рассмотрении кремниевых образцов будем отбрасывать это слагаемое в выражении для положения уровня Ферми.

Далее, полученный результат подтверждает сделанное предположение: уровень Ферми находится ниже уровня донорной примеси на расстоянии в EC EV F EC F 1.12 0.74 0.38 эВ, что значительно больше нескольких единиц kT .

Таким образом, уровень Ферми в кремнии при наличии в нем до-

норной примеси с концентрацией 1.4 1013 см-3 расположен в верхней половине запрещенной зоны на расстоянии F 0.74 эВ, отсчитанном от потолка валентной зоны.

Задача 2. Определить положение донорного уровня Ed (в элек- троно-вольтах) относительно потолка валентной зоны EV в кремниевом полупроводниковом образце, если известно, что концентрация

свободных электронов в нем равна n0

6.6 1014 см 3 , а концентра-

ция введенной донорной примеси Nd

9.0 1014 см 3 ?

Решение. Поскольку по условию задачи задана равновесная концентрация электронов, то тем самым задано положение уровня Ферми в запрещенной зоне полупроводника

F Ei

3

kT ln

mp

kT ln

ni

.

4

m

n

n0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Это положение определяется относительно потолка валентной зоны, а в переводе энергии в электроно-вольты это выражение примет вид:

 

3 kT

 

mp

 

kT

 

n

 

 

F(эВ) Ei (эВ)

 

 

 

ln

 

 

 

ln

i

.

(5.17)

4 q

mn

 

q

n0

 

 

 

 

 

 

23

Теперь можно воспользоваться тем, что при заданной концентрации электронов известна также концентрация донорной примеси, связь между которыми устанавливается функцией Ферми-Дирака:

 

Nd

exp

 

Ed

F

 

 

 

n0 Nd 1 f Ed

 

kT

 

,

(5.18)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Ed

F

 

1

exp

 

 

 

 

kT

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

где все величины известны кроме энергии ионизации донорной примеси Ed . Разрешая выражение (5.18) относительно Ed , получим

Ed

F kT ln

n0

 

 

Nd

n 0

 

 

или в единицах эВ

Ed (эВ) F(эВ)

kT

ln

n0

.

(5.19)

q

Nd n

 

 

0

 

Здесь положение уровня Ферми определяется выражением (5.17). Таким образом, совместное использование выражений (5.17) и

(5.19) позволяет найти энергетическое положение донорного уровня в численном выражении. Воспользовавшись справочными данными

значения для Ei (эВ)

Eg

1,12 / 2 0,56 эВ , эффективных масс элек-

2

 

 

тронов и дырок, а также собственной концентрации носителей заряда

в кремнии ni

1.4 1010 см 3 , из выражения (5.17) найдем:

 

 

 

 

 

 

 

3 kT

 

mp

 

 

kT

 

 

 

n

 

 

 

 

 

F(эВ)

 

Ei (эВ)

 

 

 

 

ln

 

 

 

 

 

 

ln

 

 

i

 

 

 

 

 

 

 

4 q

mn

 

 

q

 

 

n0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0.56

 

 

3

 

1.38 10 23 300

ln

0.16

 

1.38 10 23 300

ln

1.4 1010

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1.6 10 19

 

 

 

 

4

 

 

1.6 10 19

 

 

 

0.19

 

 

6.6 1014

0.56

 

3 1.38 10 23 300

ln

0.16

 

1.38 10 23 300

ln 1.4 1010

 

 

4

 

 

1.6 10

19

 

 

 

0.19

 

1.6 10

19

 

1.4 1013

0.56

3

1.38 10 23 300

ln

0.16

 

1.38 10 23 300

ln 1.4 1010

 

4

 

 

 

 

1.6 10

19

 

 

0.19

 

 

1.6 10

19

 

6.6 1014

24

0.56 1.9 10 2 ln

16

0.10 ln 4.71 0.56 0.019 0.15 0.10 1.6

19

 

 

0.56 0.003 0.16 0.72 (эВ).

Таким образом, ответ на поставленный в задаче вопрос таков:

Ed EV 0.72 эВ.

Задача 3. Какой должна быть концентрация акцепторной примеси,

вводимой в образец кремния n

типа с концентрацией электронов

n0

2.4 1016 см

3

для получения

p типа с концентрацией дырок

p0

2.8 1017 см

3 , если энергетический уровень вводимой акцептор-

ной примеси Ea

удален от потолка валентной зоны на расстояние

Ea

EV 0,12 эВ?

 

 

Решение. После введения акцепторной примеси уровень донорной примеси окажется значительно выше (более чем на несколько единиц kT ) уровня Ферми и потому будет полностью ионизован. Действительно, квант колебания решетки в единицах электроно-вольт составляет

kT

1.38 10 23 300

4.14

10 2

2.59 10 2 (эВ).

q

 

1.6 10 19

 

1.6

 

 

Поэтому запрещенная зона кремния в единицах квантов тепловых колебаний решетки составляет

Eg

 

kT

1.12

10

2

43.3 .

q

 

q

2.59

 

 

 

 

 

Следовательно, верхняя и нижняя половины запрещенной зоны, в которых располагаются донорные и акцепторные уровни легирующих примесей, соответственно, велики по сравнению с областью перезарядки примесного уровня

E 4 6 kTq .

Эта область значительно меньше указанных выше областей расположения примесных уровней.

Концентрация свободных дырок p0 в валентной зоне полупроводника равна разности концентраций ионизованных акцепторов и концентрации доноров:

p0 Na f Ea Nd ,

(5.20)

25

где функция заполнения электронами акцепторного уровня есть

 

 

f Ea

 

 

 

 

 

1

 

 

 

 

 

 

 

.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1

exp

 

 

Ea

F

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

kT

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Из выражения (5.20) найдем концентрацию акцепторной примеси:

 

 

Na p0

Nd

1

exp

Ea

F

 

.

 

(5.21)

 

 

kT

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Здесь положение уровня Ферми F

относительно потолка валентной

зоны определяется уже известным образом (см. (5.17)):

 

F EV

Ei (эВ)

 

3 kT

ln

 

mp

 

kT

 

ln

ni

,(эВ).

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

q

 

4 q

 

mn

 

 

q

 

 

 

p0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Перепишем выражение (5.21) в следующем виде, увязав положение ацепторного уровня с потолком валентной зоны:

Na

p0

Nd

1 exp

Ea

F

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

kT

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Ea

 

 

 

EV

F

EV

 

 

 

p0

Nd

1

exp

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

kT

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

или в таком виде:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Na

p0

Nd 1

exp

 

Ea

 

 

EV

 

F

EV

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

kT

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

exp

Ea

 

EV

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

.

p0

Nd

1

 

 

 

 

kT

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

exp

 

F

 

EV

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

kT

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Окончательно:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

exp

 

 

Ea

EV

 

 

 

 

q

 

 

 

 

Na

 

p0

Nd

1

 

 

 

 

 

 

 

 

q

 

 

 

 

kT

.

(5.22)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

exp

 

 

 

F

EV

 

 

 

 

q

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

q

 

 

 

kT

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Теперь подставим численные значения в данное выражение:

Ea EV

 

q

0.12

102

4.63 ,

q

 

kT

2.59

 

 

 

26

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

F

EV

 

 

 

Ei

 

EV

 

ln

ni

.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

kT

 

 

 

 

 

 

kT

p0

 

 

 

 

 

 

Далее, подставив эти значения в выражение (5.22), получим:

Na

p0

Nd

1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

exp 4.63

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ni

 

exp

 

Ei

 

 

EV

 

 

q

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p0

 

 

q

 

 

kT

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p0

Nd

1

 

 

 

 

 

 

exp 4.63

 

 

 

 

 

 

 

 

p0

Nd

1

 

exp 4.63

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ni

exp

0.56

 

10

2

 

 

 

 

ni

 

exp 21.6

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p0

 

 

 

 

 

p0

2.59

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p0

Nd

1

exp 4.63

21.6

 

 

 

 

p0 Nd

1

 

p0 exp 17.0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ni

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ni

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2.4

28.0 1016

1

 

2.8 1017

exp

17

 

 

3.0 1017 1

2 107 exp 17 .

1.4 1010

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Вычислив exp

17

 

 

 

 

 

 

 

1

 

 

10

 

5 , найдем

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

228

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Na

3.0 1017 1

2 107 / 228 105

 

3.0 1017 1

0.88

 

5.6 1017 см 3 .

Таким образом, концентрация компенсирующей примеси с заданным энергетическим положением должна составлять 5.6 1017см 3 .

Задача 4. Рассчитать удельную электропроводность кристалла германия при комнатной температуре, если известно, что уровень его ле-

гирования донорной примесью составляет Nd 2 1015 см-3.

Решение. В общем случае электропроводность кристалла полупроводника обеспечивается движением электронов и дырок. Поэтому она состоит из двух слагаемых: электронной компоненты электропроводности и дырочной, что с использованием выражения (5.10) можно записать в виде

 

n2

 

 

q nn q p p q nn q p

i

.

(5.23)

n

 

 

 

27

Полная концентрация электронов в зоне проводимости равна концентрации донорной примеси. Поэтому, предполагая полную ионизацию донорной примеси, можно записать:

n Nd .

Тогда электропроводность кристалла германия (5.23) будет равна:

 

n2

 

 

q nNd q p

i

.

(5.24)

Nd

 

 

 

Подставив из Приложения 1 в выражение (5.24) численные значения подвижностей электронов и дырок в германии, получим:

1,6

10

19

3,9

10

3

2,0

10

15

1,9

10

3 2,4

2,4

1026

 

 

 

 

 

2,0

1015

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1,6

10

19 7,8

1018

 

1,9

2,4

1,2

1014

1,6

10

19 7,8

1018

12,5

10

1

1,2.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Итак, электропроводность исследуемого кристалла германия равна 1,2 Ом-1см-1.

Задача 5. Через образец арсенида галлия, легированный донорной примесью концентрацией 1,4 1015 см-3, протекает ток величиною 10 3 А. Размеры образца 0,31 0,31 1,0см3 . За какое время электроны пролетают этот образец? Считать, что ток течет вдоль большей стороны кристалла.

Решение. Чтобы найти время пролета электронами образца, не-

обходимо знать скорость дрейфа электронов -

n , т.к. длина образца

известна:

 

 

 

t

L

.

(5.25)

 

 

n

 

Скорость электронов может быть найдена через их подвижность:

n

n

,

(5.26)

 

где - величина электрического поля, приложенного к кристаллу. Ее можно определить из закона Ома:

j

E .

(5.27)

28

Значит, искомая неизвестная будет вычисляться по выражению:

 

L

 

L

 

L

t

 

 

 

 

 

.

n

 

n

n j

Плотность тока можно найти по известному значению тока через об-

разец I и площади образца S 0,31

0,31 10 1 см2 :

j

 

I

.

 

 

 

S

Окончательное выражение для определения времени пролета электронами образца будет

 

L

S

 

L S

 

n2

 

 

t

 

 

 

 

q nNd p

i

.

(5.28)

n

I

 

n I

Nd

 

 

 

 

 

Подставив из Приложения численные значения параметров арсенида галлия, получим:

 

1,0

10

 

1

 

 

 

19

 

 

3

 

15

 

2 1,4

1,4

1016

t c

 

 

 

 

 

 

 

1,6 10

 

8,0 10

 

1,4 10

5,0 10

 

 

 

 

 

8,0

10

3

10

3

 

 

1,4

 

15

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

10

2,0

10

21 11,2

1018

7,0

103

22,4

10

3.

 

 

 

 

 

 

Итак, ответ на поставленный вопрос таков: электрон пролетит образец за 22 миллисекунды.

Задача 6. Рассчитать величину плотности полного диффузионного тока (электронов и дырок) в кремниевом образце при комнатной температуре, если известно, что уровень его легирования донорной при-

месью составляет Nd 2 1015 см 3 , а зависимости концентраций электронов и дырок от координаты описываются выражениями:

n0 (x)

Nd

exp

n (x a)2 ,

p (x)

 

ni2

exp

p

(x b)2 .

 

 

0

 

Nd

 

 

 

 

 

 

 

Здесь n, p. a, b - некие постоянные величины.

29

Решение. Плотность полного диффузионного тока представляет разность диффузионных токов электронов и дырок, поскольку при одинаковом направлении движения переносятся заряды противоположных знаков

j(диф) j(диф)

j(диф)

qD

n

qD

p

.

 

 

n

p

n

x

p

x

Для дальнейших расчетов необходимо найти градиенты концентраций электронов и дырок, что сейчас сделаем:

 

 

 

n

 

Nd

exp

n (x

a)2

/

Nd

2 n (x a)exp

n (x a)2

 

 

 

 

 

x

 

 

 

x

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2 n (x

a)

n x ;

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

n2

 

 

 

/

 

n2

 

 

p

 

 

 

 

b)2

 

 

 

p (x b)2

 

 

 

 

 

i

 

exp

p (x

 

 

i

2 p (x b)exp

x

 

Nd

x

Nd

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2

 

p (x b) p x .

 

 

 

 

 

 

Следовательно, выражение для полной плотности тока будет:

j(диф) 2q p(x b) p(x) 2q n(x a) n(x) .

(5.29)

Данное выражение является ответом на поставленный в задаче вопрос.

5.3. ВАРИАНТЫ ЗАДАНИЙ ПО ВЫЧИСЛЕНИЮ ЗОННОГО СПЕКТРА ПОЛУПРОВОДНИКА И ТОКОПЕРЕНОСУ

К КОНТРОЛЬНОЙ РАБОТЕ № 1

При решении задач раздела необходимо пользоваться справочными данными по численным значениям параметров полупроводников различного физико-химического состава. Эти данные собраны в конце учебно-методического пособия.

1.Определите положение уровня Ферми относительно потолка валентной зоны в кремниевом полупроводнике p - типа и концентра-

цию неосновных носителей, если известно, что концентрация акцепторной примеси в нем равна Na 1016 см-3.

2.Определите положение уровня Ферми относительно потолка валентной зоны в кремниевом полупроводнике n - типа и концентра-

30