Физические основы оптоэлектроники.-1
.pdf
|
|
|
j(диф) |
|
qD |
n |
, j(диф) |
qD |
p |
, |
(5.14) |
||
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
n |
|
n |
x |
p |
p |
x |
|
|
||
где Dn |
kT |
n, Dp |
|
kT |
|
коэффициенты диффузии электронов и |
|||||||
|
|
|
|
p |
|||||||||
q |
|
q |
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
дырок, соответственно. Поскольку они являются константами вещества, то, зная градиенты концентраций, по выражениям (5.14) можно найти величины диффузионных токов.
5.2. ПРИМЕРЫ РЕШЕНИЯ ЗАДАЧ ПО ВЫЧИСЛЕНИЮ ЗОННОГО СПЕКТРА ПОЛУПРОВОДНИКА И ТОКОПЕРЕНОСУ
При решении задач раздела необходимо пользоваться справочными данными по численным значениям параметров полупроводников различного физико-химического состава. Эти данные собраны в конце учебно-методического пособия.
Задача 1. Вычислить положение уровня Ферми в кремнии относительно потолка валентной зоны, если известно, что данный кри-
сталл находится при температуре T 300 K и содержит 1.4 1013 атомов фосфора в 1 см3. При решении учесть, что атомы фосфора дают энергетический уровень донорного типа, который лежит в запрещенной зоне практически точно по дну зоны проводимости.
Решение. Для определения энергетического положения уровня Ферми в заданных условиях необходимо воспользоваться выражени-
ем (5.3):
F Ei |
3 |
kT ln |
mp |
kT ln |
ni |
. |
||
4 |
m |
n |
n0 |
|||||
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
Здесь равновесная концентрация n0 задается донорной примесью:
|
Nd |
exp |
|
EC |
F |
|
|
|
n0 Nd 1 f EC |
|
kT |
|
. |
||||
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
EC |
F |
|
||||
1 |
exp |
|
|
|||||
|
kT |
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
Строго говоря, имеем трансцендентное уравнение относительно F
21
|
3 |
|
mp |
|
n |
i |
|
F E |
|
||
F Ei |
|
kT ln |
|
|
kT ln |
|
kT ln 1 exp |
C |
, (5.15) |
||
4 |
m |
n |
Nd |
kT |
|||||||
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
которое можно решить приближенным методом, если F EC 3kT . Это означает, что если донорный уровень находится выше уровня Ферми на единицы kT , то он полностью ионизован. Тогда последнее слагаемое в выражении (5.15) можно разложить в ряд по малому параметру
ln 1 exp |
F EC |
exp |
F EC |
exp 3 |
1 |
0.05 |
|
kT |
kT |
20 |
|||||
|
|
|
|
и увидеть, что в рассматриваемом случае ln 1 можно с высокой степенью точности считать равным ln 1 , что дает нуль. В результате приходим к следующему выражению для положения уровня Ферми в легированном полупроводнике:
F Ei |
3 |
kT ln |
mp |
kT ln |
ni |
. |
||
4 |
m |
n |
Nd |
|||||
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
Если считать положение уровня Ферми в электроновольтах (эВ), то это выражение следует разделить на заряд электрона:
F Ei |
3 |
|
kT |
ln |
mp |
|
kT |
ln |
ni |
, |
(5.16) |
4 |
|
q |
m |
|
q |
Nd |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
n |
|
|
|
|
|
|
где Ei - задано уже в электроновольтах. Подстановка численных значений в (5.16) дает
F 0.56 |
|
3 1.38 |
10 |
23 300 |
ln |
0.16 |
1.38 10 23 300 |
ln |
1.4 |
1010 |
||||||||||||
|
4 |
|
|
|
19 |
|
0.19 |
|
|
19 |
|
|
|
1013 |
||||||||
|
|
1.6 10 |
|
|
|
1.6 10 |
|
|
|
1.4 |
||||||||||||
0.56 |
3 |
1.38 10 23 300 |
ln |
0.16 |
|
1.38 10 23 |
300 |
ln |
1.4 |
1010 |
|
|||||||||||
4 |
|
|
|
10 19 |
|
0.19 |
|
|
1.6 10 19 |
|
1013 |
|
||||||||||
|
1.6 |
|
|
|
1.4 |
|
||||||||||||||||
0.56 |
1.9 10 |
2 |
ln |
16 |
0.078 ln 10 0.56 0.019 |
0.15 |
0.078 2.3 |
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
19 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0.56 |
0.003 |
0.18 |
|
0.74 . |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
22
Из проведенного расчета следует важный вывод: изменение положение уровня Ферми за счет различия эффективных масс носителей заряда оказывается пренебрежимо малым по сравнению с другими слагаемыми в (5.16) и поэтому неважно: какие рассматривать электроны и дырки (легкие или тяжелые) – результат будет практически один и тот же. Такая ситуация характерна для подавляющего большинства практически важных случаев. Поэтому при рассмотрении кремниевых образцов будем отбрасывать это слагаемое в выражении для положения уровня Ферми.
Далее, полученный результат подтверждает сделанное предположение: уровень Ферми находится ниже уровня донорной примеси на расстоянии в EC EV F EC F 1.12 0.74 0.38 эВ, что значительно больше нескольких единиц kT .
Таким образом, уровень Ферми в кремнии при наличии в нем до-
норной примеси с концентрацией 1.4 1013 см-3 расположен в верхней половине запрещенной зоны на расстоянии F 0.74 эВ, отсчитанном от потолка валентной зоны.
Задача 2. Определить положение донорного уровня Ed (в элек- троно-вольтах) относительно потолка валентной зоны EV в кремниевом полупроводниковом образце, если известно, что концентрация
свободных электронов в нем равна n0 |
6.6 1014 см 3 , а концентра- |
ция введенной донорной примеси Nd |
9.0 1014 см 3 ? |
Решение. Поскольку по условию задачи задана равновесная концентрация электронов, то тем самым задано положение уровня Ферми в запрещенной зоне полупроводника
F Ei |
3 |
kT ln |
mp |
kT ln |
ni |
. |
||
4 |
m |
n |
n0 |
|||||
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
Это положение определяется относительно потолка валентной зоны, а в переводе энергии в электроно-вольты это выражение примет вид:
|
3 kT |
|
mp |
|
kT |
|
n |
|
|
||
F(эВ) Ei (эВ) |
|
|
|
ln |
|
|
|
ln |
i |
. |
(5.17) |
4 q |
mn |
|
q |
n0 |
|||||||
|
|
|
|
|
|
23
Теперь можно воспользоваться тем, что при заданной концентрации электронов известна также концентрация донорной примеси, связь между которыми устанавливается функцией Ферми-Дирака:
|
Nd |
exp |
|
Ed |
F |
|
|
|
|
n0 Nd 1 f Ed |
|
kT |
|
, |
(5.18) |
||||
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
Ed |
F |
|
|||||
1 |
exp |
|
|
|
|||||
|
kT |
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
где все величины известны кроме энергии ионизации донорной примеси Ed . Разрешая выражение (5.18) относительно Ed , получим
Ed |
F kT ln |
n0 |
|
|
|
Nd |
n 0 |
||||
|
|
или в единицах эВ
Ed (эВ) F(эВ) |
kT |
ln |
n0 |
. |
(5.19) |
|
q |
Nd n |
|||||
|
|
0 |
|
Здесь положение уровня Ферми определяется выражением (5.17). Таким образом, совместное использование выражений (5.17) и
(5.19) позволяет найти энергетическое положение донорного уровня в численном выражении. Воспользовавшись справочными данными
значения для Ei (эВ) |
Eg |
1,12 / 2 0,56 эВ , эффективных масс элек- |
|
2 |
|||
|
|
тронов и дырок, а также собственной концентрации носителей заряда
в кремнии ni |
1.4 1010 см 3 , из выражения (5.17) найдем: |
||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
3 kT |
|
mp |
|
|
kT |
|
|
|
n |
|
|
|
|
|
||||||
F(эВ) |
|
Ei (эВ) |
|
|
|
|
ln |
|
|
|
|
|
|
ln |
|
|
i |
|
|
|
|
|
|
||||
|
4 q |
mn |
|
|
q |
|
|
n0 |
|
|
|
|
|
||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
0.56 |
|
|
3 |
|
1.38 10 23 300 |
ln |
0.16 |
|
1.38 10 23 300 |
ln |
1.4 1010 |
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1.6 10 19 |
|
|
||||||||||||||||
|
|
4 |
|
|
1.6 10 19 |
|
|
|
0.19 |
|
|
6.6 1014 |
|||||||||||||||
0.56 |
|
3 1.38 10 23 300 |
ln |
0.16 |
|
1.38 10 23 300 |
ln 1.4 1010 |
||||||||||||||||||||
|
|
4 |
|
|
1.6 10 |
19 |
|
|
|
0.19 |
|
1.6 10 |
19 |
|
1.4 1013 |
||||||||||||
0.56 |
3 |
1.38 10 23 300 |
ln |
0.16 |
|
1.38 10 23 300 |
ln 1.4 1010 |
||||||||||||||||||||
|
4 |
|
|
|
|
1.6 10 |
19 |
|
|
0.19 |
|
|
1.6 10 |
19 |
|
6.6 1014 |
24
0.56 1.9 10 2 ln |
16 |
0.10 ln 4.71 0.56 0.019 0.15 0.10 1.6 |
|
19 |
|||
|
|
0.56 0.003 0.16 0.72 (эВ).
Таким образом, ответ на поставленный в задаче вопрос таков:
Ed EV 0.72 эВ.
Задача 3. Какой должна быть концентрация акцепторной примеси,
вводимой в образец кремния n |
типа с концентрацией электронов |
|||
n0 |
2.4 1016 см |
3 |
для получения |
p типа с концентрацией дырок |
p0 |
2.8 1017 см |
3 , если энергетический уровень вводимой акцептор- |
||
ной примеси Ea |
удален от потолка валентной зоны на расстояние |
|||
Ea |
EV 0,12 эВ? |
|
|
Решение. После введения акцепторной примеси уровень донорной примеси окажется значительно выше (более чем на несколько единиц kT ) уровня Ферми и потому будет полностью ионизован. Действительно, квант колебания решетки в единицах электроно-вольт составляет
kT |
1.38 10 23 300 |
4.14 |
10 2 |
2.59 10 2 (эВ). |
|||
q |
|
1.6 10 19 |
|
1.6 |
|||
|
|
Поэтому запрещенная зона кремния в единицах квантов тепловых колебаний решетки составляет
Eg |
|
kT |
1.12 |
10 |
2 |
43.3 . |
q |
|
q |
2.59 |
|
||
|
|
|
|
Следовательно, верхняя и нижняя половины запрещенной зоны, в которых располагаются донорные и акцепторные уровни легирующих примесей, соответственно, велики по сравнению с областью перезарядки примесного уровня
E 4 6 kTq .
Эта область значительно меньше указанных выше областей расположения примесных уровней.
Концентрация свободных дырок p0 в валентной зоне полупроводника равна разности концентраций ионизованных акцепторов и концентрации доноров:
p0 Na f Ea Nd , |
(5.20) |
25
где функция заполнения электронами акцепторного уровня есть
|
|
f Ea |
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
. |
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
1 |
exp |
|
|
Ea |
F |
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
kT |
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
Из выражения (5.20) найдем концентрацию акцепторной примеси: |
|||||||||||||||||||||
|
|
Na p0 |
Nd |
1 |
exp |
Ea |
F |
|
. |
|
(5.21) |
||||||||||
|
|
kT |
|
|
|
|
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
Здесь положение уровня Ферми F |
относительно потолка валентной |
||||||||||||||||||||
зоны определяется уже известным образом (см. (5.17)): |
|||||||||||||||||||||
|
F EV |
Ei (эВ) |
|
3 kT |
ln |
|
mp |
|
kT |
|
ln |
ni |
,(эВ). |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
q |
|
4 q |
|
mn |
|
|
q |
|
|
|
p0 |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Перепишем выражение (5.21) в следующем виде, увязав положение ацепторного уровня с потолком валентной зоны:
Na |
p0 |
Nd |
1 exp |
Ea |
F |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||
|
|
|
kT |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
, |
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Ea |
|
|
|
EV |
F |
EV |
|
|
||||||||||||
|
p0 |
Nd |
1 |
exp |
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
kT |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
или в таком виде: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Na |
p0 |
Nd 1 |
exp |
|
Ea |
|
|
EV |
|
F |
EV |
|
|
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
kT |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
exp |
Ea |
|
EV |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
. |
||||||||||
p0 |
Nd |
1 |
|
|
|
|
kT |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
exp |
|
F |
|
EV |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
kT |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
Окончательно: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
exp |
|
|
Ea |
EV |
|
|
|
|
q |
|
|
|
|
|||||||||
Na |
|
p0 |
Nd |
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
q |
|
|
|
|
kT |
. |
(5.22) |
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
exp |
|
|
|
F |
EV |
|
|
|
|
q |
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
q |
|
|
|
kT |
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Теперь подставим численные значения в данное выражение:
Ea EV |
|
q |
0.12 |
102 |
4.63 , |
q |
|
kT |
2.59 |
||
|
|
|
26
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
F |
EV |
|
|
|
Ei |
|
EV |
|
ln |
ni |
. |
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
kT |
|
|
|
|
|
|
kT |
p0 |
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
Далее, подставив эти значения в выражение (5.22), получим: |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Na |
p0 |
Nd |
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
exp 4.63 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
ni |
|
exp |
|
Ei |
|
|
EV |
|
|
q |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
p0 |
|
|
q |
|
|
kT |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
p0 |
Nd |
1 |
|
|
|
|
|
|
exp 4.63 |
|
|
|
|
|
|
|
|
p0 |
Nd |
1 |
|
exp 4.63 |
|||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
ni |
exp |
0.56 |
|
10 |
2 |
|
|
|
|
ni |
|
exp 21.6 |
||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
p0 |
|
||||||||||||
|
|
|
|
p0 |
2.59 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
p0 |
Nd |
1 |
exp 4.63 |
21.6 |
|
|
|
|
p0 Nd |
1 |
|
p0 exp 17.0 |
|
||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ni |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ni |
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
p0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
2.4 |
28.0 1016 |
1 |
|
2.8 1017 |
exp |
17 |
|
|
3.0 1017 1 |
2 107 exp 17 . |
|||||||||||||||||||||||||||||||
1.4 1010 |
|
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||
Вычислив exp |
17 |
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
10 |
|
5 , найдем |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||
|
228 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
Na |
3.0 1017 1 |
2 107 / 228 105 |
|
3.0 1017 1 |
0.88 |
|
5.6 1017 см 3 . |
Таким образом, концентрация компенсирующей примеси с заданным энергетическим положением должна составлять 5.6 1017см 3 .
Задача 4. Рассчитать удельную электропроводность кристалла германия при комнатной температуре, если известно, что уровень его ле-
гирования донорной примесью составляет Nd 2 1015 см-3.
Решение. В общем случае электропроводность кристалла полупроводника обеспечивается движением электронов и дырок. Поэтому она состоит из двух слагаемых: электронной компоненты электропроводности и дырочной, что с использованием выражения (5.10) можно записать в виде
|
n2 |
|
|
|
q nn q p p q nn q p |
i |
. |
(5.23) |
|
n |
||||
|
|
|
27
Полная концентрация электронов в зоне проводимости равна концентрации донорной примеси. Поэтому, предполагая полную ионизацию донорной примеси, можно записать:
n Nd .
Тогда электропроводность кристалла германия (5.23) будет равна:
|
n2 |
|
|
|
q nNd q p |
i |
. |
(5.24) |
|
Nd |
||||
|
|
|
Подставив из Приложения 1 в выражение (5.24) численные значения подвижностей электронов и дырок в германии, получим:
1,6 |
10 |
19 |
3,9 |
10 |
3 |
2,0 |
10 |
15 |
1,9 |
10 |
3 2,4 |
2,4 |
1026 |
|
|||||
|
|
|
|
2,0 |
1015 |
|
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
1,6 |
10 |
19 7,8 |
1018 |
|
1,9 |
2,4 |
1,2 |
1014 |
1,6 |
10 |
19 7,8 |
1018 |
|||||||
12,5 |
10 |
1 |
1,2. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Итак, электропроводность исследуемого кристалла германия равна 1,2 Ом-1см-1.
Задача 5. Через образец арсенида галлия, легированный донорной примесью концентрацией 1,4 1015 см-3, протекает ток величиною 10 3 А. Размеры образца 0,31 0,31 1,0см3 . За какое время электроны пролетают этот образец? Считать, что ток течет вдоль большей стороны кристалла.
Решение. Чтобы найти время пролета электронами образца, не-
обходимо знать скорость дрейфа электронов - |
n , т.к. длина образца |
||
известна: |
|
|
|
t |
L |
. |
(5.25) |
|
|||
|
n |
|
Скорость электронов может быть найдена через их подвижность:
n |
n |
, |
(5.26) |
|
где - величина электрического поля, приложенного к кристаллу. Ее можно определить из закона Ома:
j |
E . |
(5.27) |
28
Значит, искомая неизвестная будет вычисляться по выражению:
|
L |
|
L |
|
L |
|
t |
|
|
|
|
|
. |
n |
|
n |
n j |
Плотность тока можно найти по известному значению тока через об-
разец I и площади образца S 0,31 |
0,31 10 1 см2 : |
||
j |
|
I |
. |
|
|
||
|
S |
Окончательное выражение для определения времени пролета электронами образца будет
|
L |
S |
|
L S |
|
n2 |
|
|
t |
|
|
|
|
q nNd p |
i |
. |
(5.28) |
n |
I |
|
n I |
Nd |
||||
|
|
|
|
|
Подставив из Приложения численные значения параметров арсенида галлия, получим:
|
1,0 |
10 |
|
1 |
|
|
|
19 |
|
|
3 |
|
15 |
|
2 1,4 |
1,4 |
1016 |
||||
t c |
|
|
|
|
|
|
|
1,6 10 |
|
8,0 10 |
|
1,4 10 |
5,0 10 |
|
|
|
|
|
|||
8,0 |
10 |
3 |
10 |
3 |
|
|
1,4 |
|
15 |
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
|||||||||
2,0 |
10 |
21 11,2 |
1018 |
7,0 |
103 |
22,4 |
10 |
3. |
|
|
|
|
|
|
Итак, ответ на поставленный вопрос таков: электрон пролетит образец за 22 миллисекунды.
Задача 6. Рассчитать величину плотности полного диффузионного тока (электронов и дырок) в кремниевом образце при комнатной температуре, если известно, что уровень его легирования донорной при-
месью составляет Nd 2 1015 см 3 , а зависимости концентраций электронов и дырок от координаты описываются выражениями:
n0 (x) |
Nd |
exp |
n (x a)2 , |
||
p (x) |
|
ni2 |
exp |
p |
(x b)2 . |
|
|
||||
0 |
|
Nd |
|
|
|
|
|
|
|
|
Здесь n, p. a, b - некие постоянные величины.
29
Решение. Плотность полного диффузионного тока представляет разность диффузионных токов электронов и дырок, поскольку при одинаковом направлении движения переносятся заряды противоположных знаков
j(диф) j(диф) |
j(диф) |
qD |
n |
qD |
p |
. |
|
|
|||||
n |
p |
n |
x |
p |
x |
Для дальнейших расчетов необходимо найти градиенты концентраций электронов и дырок, что сейчас сделаем:
|
|
|
n |
|
Nd |
exp |
n (x |
a)2 |
/ |
Nd |
2 n (x a)exp |
n (x a)2 |
||
|
|
|
|
|
x |
|||||||||
|
|
|
x |
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 n (x |
a) |
n x ; |
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
n2 |
|
|
|
/ |
|
n2 |
|
|
|
p |
|
|
|
|
b)2 |
|
|
|
p (x b)2 |
|||||
|
|
|
|
|
i |
|
exp |
p (x |
|
|
i |
2 p (x b)exp |
||
x |
|
Nd |
x |
Nd |
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
p (x b) p x . |
|
|
|
|
|
|
Следовательно, выражение для полной плотности тока будет:
j(диф) 2q p(x b) p(x) 2q n(x a) n(x) . |
(5.29) |
Данное выражение является ответом на поставленный в задаче вопрос.
5.3. ВАРИАНТЫ ЗАДАНИЙ ПО ВЫЧИСЛЕНИЮ ЗОННОГО СПЕКТРА ПОЛУПРОВОДНИКА И ТОКОПЕРЕНОСУ
К КОНТРОЛЬНОЙ РАБОТЕ № 1
При решении задач раздела необходимо пользоваться справочными данными по численным значениям параметров полупроводников различного физико-химического состава. Эти данные собраны в конце учебно-методического пособия.
1.Определите положение уровня Ферми относительно потолка валентной зоны в кремниевом полупроводнике p - типа и концентра-
цию неосновных носителей, если известно, что концентрация акцепторной примеси в нем равна Na 1016 см-3.
2.Определите положение уровня Ферми относительно потолка валентной зоны в кремниевом полупроводнике n - типа и концентра-
30