Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Современные проблемы науки и производства в области электронной техники

..pdf
Скачиваний:
2
Добавлен:
05.02.2023
Размер:
10.04 Mб
Скачать

.

, .

,

( ) .

:

( , )

.

,

International Frequency Sensor Association (IFSA). WEBwww.sensorsportal.com.

.3.1. - IFSA.

:

51

, , , E

.

[36 40], ,

[36 38].

.

SiOx (x 1,2),

, .

, dz

. dz,

,

, B

.

( )

[41, 42, 49]

n+ p+ .

, n+ p+ R

U*

40 60

t . U~

 

 

R ,

 

 

 

n+ p+ . ,

U*=constant

,

E .

=constant

n+ p+ ,

52

n+ p+ .

.

53

.3.2. (1, 2) (3)

( = 293)

.3.3.

( = 293 ).

54

:

 

= 293

,

U* = 20 ,

t = 100 , R = 1 ,

 

=1.4 2.4

,

 

U~ = (1 14)

,

 

(df/dB) 60 / ( . .3.2, 1) [41].

 

 

 

 

[49],

n+ p+ , , U* R .

U*=40 , t = 300 ,

45 , R =10 110 / ,

( . .3.2, 2)

,

0,16 ,

( . .3.2,

3),

 

 

 

 

p+ n+

 

 

( . .3.3) [42].

 

 

= 293

 

 

 

,

 

.

=1.43

U~ = 0.01 .

3.6.

,

FeNdB. 196 C

+63 C .

196 C 111 C 4.5 9 .

-

,

55

, U* ( . 3.1) [43,44].

3.1.

U*,

T, C

df/dT,

,

 

 

 

/ C

 

10

196

84

10700

1900 700

20

84

20

14800

1250 300

30

20 0

6200

425 300

50

20

25

5500

550 300

65

10

62

3100

425 200

.3.4

U=65 (1) (2)

10

56

 

 

 

 

10 +63 C

 

 

3.1 /

0.47 0.04 .

, 2006 .

VI

[43,44, 46 49].

3.7.

,

3.6,

. U * ,

,

77 335 . , ,

40 , > 300

, 300 200 .

.

U * ~ 120

« » 77 172 U* < 5.

,

~ 120 .

, .

120 335 .

77 180 .

3.8.

, ,

- .

57

,

, , 3.6,

.

,

. ,

, ,

, U* = U0 + UR, U0

n+ p+ , U0 U0 .

77 163

U~ 100 ,

U*. = 77 1.2 1.6

U* 6 12 , =163 f = 0.5 0.7

.

77 335 .

U~ 10

U*: ,

.

4.

4.1..

,

,

58

,

.

.4.1 .

4.1.

. ,

(source) (drain), (island)

, 100 .

, 40 000 .

,

. ,

.

- (

) , « »,

. ,

( ),

, 0 (

) 1 ( ).

4.2.GNRFET

[50]

( ) 200

, : 50, 30, 20, 10 10.

Pd. ,

59

,

50 10 ,

, 10 .

,

-10

, ,

.

, 2006 2007 . . [50].

, ,

.4.2, [51].

.4.2.

 

 

.

GNRFETs 10 SiO2 Pd

- , p++ Si . (b) AFM

~ 2 ± 0.5 ,

L=236 . (

60