Исследование процессов ионной обработки материалов и ионноплазменного распыления материалов

3. Процессы лазерной и электронно-ионной технологии: Учебное пособие / Аксенов А. И. - 2018. 123 с. [Электронный ресурс] - Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/7262.

31

Учебное пособие

Орликов Л.Н.

Исследование процессов ионной обработки материалов и ионно-плазменного распыления материалов

Методические указания к лабораторным работам для студентов

направления 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника и направления 12.04.03 – Фотоника и оптоинформатика

Усл. печ. л.______ Препринт Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники 634050, г.Томск, пр.Ленина, 40