Атомно-силовая микроскопия (120
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37
Binning G., Quate C.F., Gerber Ch. Atomic Force Microscope //
Phys. Rev. Lett., 1986. V. 56, $ 9. P. 930–933.
.., . . % - & : . . : '!( ) * ,
2004. 84 .
. . + . 7 , - : . / <.=. ) , ).>. * . < : <- . . . ., 2003. 192 .
. . ? @ . B.: C , 2005. 152 .
D : - (>( 7'(C(+-B!DC,#BB-2000: http://www.miet.ru/structure/s/827/, 22.02.2012 .
D : - * C!#+ B, «+ # »: http://www.nanoscan.info, 22.02.2012 .
D : - +C-BGC: http://www.ntmdt.ru, 22.02.2012 .
D : - +C-BGC: http://idpe.ntmdt.ru/shared/(_&_ %20_ .pdf, 22.02.2012 .
38
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