Энциклопедия низкотемпературной плазмы. Вводный том II
.pdf
|
|
|
|
1 IV. ГЕНЕРАЦИЯ ПЛАЗМЫ И ГАЗОВЫЕ РАЗРЯДЫ |
||||||||||
|
|
|
резонатора |
пространяющейся вдоль проводника, эг |
. усх |
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
2irrhN = Ад/4. |
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
Здесь Ло — |
;уумная длина волны, гь — радиус спирали, |
|||||||||
|
|
|
|
азимутальным |
следовательно |
разряд непь: |
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
индукционным |
С другой стороны |
cor ai |
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
выше классификации он близок к СВЧ |
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
i |
возбуждения |
ра- |
|
|
|
|
||
|
|
|
|
преимуществ |
Во первь |
|
е рез |
ан1 |
.пволяет по |
|||||
|
|
|
|
учить в отсутствие плазм ы боль |
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
что облегчает проСои BL E |
атушк |
воадужд^ется п |
||||||||
|
|
|
|
анне с подводящей |
|
и без использования внеш |
||||||||
|
|
|
|
гласуюшей системы |
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
© А.С. Смирное |
|||
|
|
|
IV.5. РАЗРЯДЫ ТИПА ДУГОВОГО |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
тронной эмиссии j , ( 1 ' = j |
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
годной |
плазме дугового разряда, |
|
|
|
|
|
|
ности тока з |
разряда |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Здесь % — количе- |
||||
2. Положительный столб (ПС |
[ггабилизнрованной электриче- |
|
|
|
ектроноЕ |
1 расчете на один ион |
||||||||
|
|
ектронного |
тока |
аг |
= |
-у,/{1 + 7.) |
||||||||
скоИ дуги |
|
|
|
|
|
|||||||||
1. Конструкция стабилизируя |
х пугу устройств ллч р |
и боЛ1 |
|
|
тока |
о, = |
1/(1 |
+ |
7.) |
на |
поверх- |
|||
3, Температурньк |
|У^>. |
:рные нарэктеристики |
|
приводят |
тому, что затраты энергии |
на ио- |
||||||||
а. Методы и результаты |
в расчет |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
•ектро- н |
1роводности плазмы (101). |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
3.Като, |
|
|
|
существ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1.Движение КП |
(108). 2.Време1 |
\арактеристи |
что Uo : |
. |
Иначе организуется энергетический баланс |
|||||||||
(ПО). 3. Характерные величины TI |
СП (112). |
КС ДР, |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
IV.5.4. Вакуумная дуга |
|
|
|
;спечивается |
большая |
плотность |
электронного тока на |
|||||||
Введение (115]. I. Слаботочные nj |
115). 2.Сильн. |
гопе. Здесь ас ~ 1. так что ионизационное размножение |
||||||||||||
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
жтронов в |
КС невелико и |
Uo ~ Е,/е |
|
|
|
|
||||
ш npeofp зовотель |
Формы vmc г» в
и.ие и ели прнанп нпн области
IV.5.1. Явления на катоде и в прикатодной плазме дугового разряда. Явления на катоде и в прикатодной плазме нередко являются определяющими для всего газоразрядного промежутка. Классификация видов ГР, т.е. подразделение его на ТР, дуговой разряд (ДР1 и т.п., в основном определяется процессами на катоде и в прикатодной плазме.
ВТР, где эмиссия электронов с катода обеспечивается
восновном за счет вырывания электронов ионами, катод-
напряжения Щ порядка сотен В, Это связано с
необхс
тронного тока je в пределах КС о
Ни, |
|
л |
рассматривз |
|
|
|
|
|
|
|
к ДР. Paccp.it |
вается достаточно |
плоти я дуговая плазма, когда вдал |
||||
|
ибо д |
|
|
|
шбо в |
|
I J юктронов |
(е) и |
тял |
|
|
|
юв (i). |
При |
атом |
под |
КС г |
|
юродгк |
|
|
|
торой 1 |
вательно |
репаксируют |
при электродные возмушеш |
|||
|
|
|
|
|
енгмюровскии слои |
(ЛС) пространственного заряд |
|ром отрицательный |
||||
|
|
|
|
|
;ITO а экранируеп-я |
|
|
ЗаЛС устанавливается KBSJ |
|||
|
|
ая плазма, в которой происхе |
|||
|
|
иксвеллизация ФР заряженн |
|||
|
|
|
иное равновесие |
||
точно больших TOi |
|
ысоком давлениi |
|||
равн вдаются темпе |
|
пектронов Те и т |
|||
Т„,Т,. В перечисленных областях КС плазма неод]
диентам потенциала cbp/dx, концентрации dn/dx i
ратуры dT/dx. За внешней границей КС, т.е. в одн сродной
плазме, ток переносится только под действием эл( ктриче- dn/dx
