![](/user_photo/_userpic.png)
ИДЗ_1_Зикратова_14
.docxМИНОБРНАУКИ РОССИИ
Санкт-Петербургский государственный
электротехнический университет
«ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)
Кафедра МНЭ
ИДЗ №1
по дисциплине «Методы анализа структур электроники и микросистемной техники»
Тема: ВОССТАНОВЛЕНИЕ ПОВЕРХНОСТНОЙ СТРУКТУРЫ ПО ДИФРАКЦИОННОЙ КАРТИНЕ
Вариант 14
Студентка гр. 9282 |
|
Зикратова А. А. |
Преподаватель |
|
Андреева Н. В. |
Санкт-Петербург
2023
Цель работы: определить параметры и тип поверхностной структуры из дифракционной картины
Задание: a0 = 1.41421, b0 = 1 – параметры прямой решётки подложки, угол можно выбрать произвольно (350 или 1450)
Рис. 1 – Исходная дифракционная картина подложки с поверхностной структурой
На рис 1. обозначены рефлексы подложки – окружности с бОльшим радиусом, рефлексы поверхностной структуры – окружности с меньшим радиусом.
=
,
=
– параметры
обратной решётки подложки
b0*
a0*
b1*
a1*
b0*
b0*
a0*
![](/html/65446/253/html_rxeFmBCSLr.zC4D/htmlconvd-vYWxBl_html_277d783367ad380.gif)
![](/html/65446/253/html_rxeFmBCSLr.zC4D/htmlconvd-vYWxBl_html_976fce0b9bd4092e.gif)
![](/html/65446/253/html_rxeFmBCSLr.zC4D/htmlconvd-vYWxBl_html_e8383b8c97c5f232.gif)
![](/html/65446/253/html_rxeFmBCSLr.zC4D/htmlconvd-vYWxBl_html_297d2d8460035261.gif)
![](/html/65446/253/html_rxeFmBCSLr.zC4D/htmlconvd-vYWxBl_html_c9585a871c93d004.gif)
![](/html/65446/253/html_rxeFmBCSLr.zC4D/htmlconvd-vYWxBl_html_8016d7e84174504d.gif)
Рис. 2 – Исходная дифракционная картина с обозначенными базисными векторами обратной решётки подложки и поверхностной структуры
1) Разложение базисных векторов обратной решётки плёнки по базисным векторам обратной решётки подложки (исходя из рис. 2):
→ M*
=
– матрица коэффициентов разложения
обратной решётки
2) Нахождение обратной матрицы коэффициентов разложения обратной решётки (M*-1):
→
→
→
M
= M*-1
=
- матрица коэффициентов разложения
прямой решётки
Проверка:
M*
* M*-1
=
*
=
=
Разложение базисных векторов прямой решётки плёнки по базисным векторам прямой решётки подложки:
M
=
→
3) Определение типа поверхностной структуры:
detM
=
+
=
≈ 0,5 =
– отношение 2-х целых несократимых чисел
→ соизмеримая структура, плёнка с
подложкой имеет общую периодичность
(есть совпадающие рефлексы)
4) Построение прямых решёток подложки и поверхностной структуры:
Угол между
и
:
π - 350
a0
b0
a0
a0
a1
b1
b0
b0
![](/html/65446/253/html_rxeFmBCSLr.zC4D/htmlconvd-vYWxBl_html_5054a1c30cd1dcf0.gif)
Рис. 3 – Построение элементарных ячеек подложки и плёнки
Рис. 4 – Восстановленные структуры подложки и плёнки
а томы подложки, - атомы плёнки
Вывод: в данной работе была восстановлена кристаллическая структура плёнки по дифракционной картине.